Kwartsovenbuis

Semicorex kwartsovenbuis, wafelboten, kwartskroezen voor de groei van silicium-eenkristallen zijn allemaal gemaakt van hoge zuiverheidoven buis:l. Kwarts wordt veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie, het zeer zuivere kwarts is het belangrijkste verbruiksartikel bij de productie van wafels. De belangrijkste doelmarkt van kwartsonderdelen op het gebied van halfgeleiders is het diffusie- en etsproces bij de fabricage van wafers, en kan worden onderverdeeld in twee hoofdcategorieën: onderdelen op hoge temperatuur en onderdelen op lage temperatuur.

1. Onderdelen voor hoge temperaturen zijn kwartsovenbuis, wafelboot, boothouder en enz. Ze moeten direct of indirect in contact komen met siliciumwafel in een omgeving met hoge temperaturen, ze zijn voornamelijk gemaakt van gesmolten kwartsglasmateriaal, geproduceerd door thermische verwerking.

2. Onderdelen met lage temperatuur zijn kwartsringen tijdens het etsproces, en inclusief cassettes, reinigingstanks tijdens het reinigingsproces. Ze worden voornamelijk gebruikt in omgevingen met lage temperaturen en zijn voornamelijk gemaakt van gesmolten kwartsglas, geproduceerd door middel van koude verwerking.

Componenten in de hogetemperatuurzone worden sneller verbruikt, maar worden doorgaans gebruikt in systemen met meerdere wafers (één drager die meerdere siliciumwafels bevat), terwijl componenten in de lagetemperatuurzone langzamer worden verbruikt, maar worden gebruikt in systemen met één wafer (één drager die één siliciumwafel vasthoudt); daarom is de totale marktomvang voor beide relatief vergelijkbaar.

De oven is het gebied waarin de wafels een verwarmingsproces op hoge temperatuur ondergaan, bestaande uit een kwartsovenbuis, een reactor en verschillende verwarmers. Het wordt veel toegepast in diffusie-, oxidatie- en RTP-processen bij de verwerking van halfgeleiders. De oven is hoofdzakelijk verdeeld in horizontale en verticale typen: In een horizontale oven worden wafers op een kwartsboot geplaatst, die op zijn beurt op een SiC-drager wordt geplaatst. Er zijn ook adaptieve baffles aan de voor- en achterkant. De drager wordt in de kwartsovenbuis geduwd en de wafels ondergaan de reactie in een zone met constante temperatuur. In een verticale oven worden wafels op een kwartstoren geplaatst en vervolgens langzaam in de kwartsovenbuis omhoog gebracht voor verwerking.

Vanwege de hoge temperaturen die bij de bovengenoemde processen betrokken zijn, moet tijdens de productie een kwartsovenbuis worden gebruikt die bestand is tegen vervorming en instorten en een lange levensduur heeft om ernstige vervorming en instorting van de kwartsovenbuis na herhaald en langdurig gebruik te voorkomen.

Dit zijn de voordelen vankwartsoven buis:

1. Bestand tegen hoge temperaturen. Kwartsglas heeft een verwekingspunt van ongeveer 1730℃ en kan gedurende langere perioden bij 1150℃ worden gebruikt, waarbij de maximale temperatuur op korte termijn 1450℃ kan bereiken.

2. Corrosiebestendigheid. Behalve fluorwaterstofzuur reageert hoogzuiver kwarts nauwelijks chemisch met andere zure stoffen. Bij hoge temperaturen is het bestand tegen corrosie door zwavelzuur, salpeterzuur, zoutzuur, koningswater, neutrale zouten, koolstof en zwavel. De zuurbestendigheid is 30 keer die van keramiek en 150 keer die van roestvrij staal.  De chemische stabiliteit, vooral bij hoge temperaturen, is ongeëvenaard door enig ander technisch materiaal.

3. Goede thermische stabiliteit. Hoogzuiver kwarts heeft een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt en is bestand tegen drastische temperatuurveranderingen.  Het verwarmen van zeer zuiver kwarts tot ongeveer 1100 ℃ en het vervolgens onderdompelen in water op kamertemperatuur zal er niet voor zorgen dat het uiteenvalt.

4. Goede lichttransmissieprestaties. Hoogzuiver kwarts heeft goede lichttransmissieprestaties over het gehele spectrum, van ultraviolet tot infrarood. De transmissie van zichtbaar licht ligt boven de 93% en in het ultraviolette spectrum kan de maximale transmissie meer dan 80% bereiken.

5. Goede elektrische isolatieprestaties. De soortelijke weerstand van hoogzuiver kwarts is tienduizend keer zo groot als die van gewoon kwartsglas, waardoor het een uitstekend elektrisch isolatiemateriaal is, dat zelfs bij hoge temperaturen goede elektrische eigenschappen bezit.