Semicorex rigide grafiet vilt is een hoog presterend thermisch isolatiemateriaal gemaakt van op pan gebaseerde en viscose-gebaseerde koolstofvezel, veel gebruikt in industriële ovens op hoge temperatuur. Kies Semicorex voor zijn geavanceerde productieprocessen en bewezen expertise in het leveren van duurzame en betrouwbare oplossingen voor veeleisende halfgeleidertoepassingen.*
Rigide grafietgevoel kan worden gevormd door zacht viltlaminering en nat vorming. De gemeenschappelijke laminatiemethode voor het maken van koolstofvezel grafiet hard vilt gebruikt zacht vilt als grondstof. Het productieproces begint met snijden: het snijden van meerdere stukken spaties die iets groter zijn dan de uiteindelijke harde viltgrootte van het zachte vilt. Na het snijden wordt het geïmpregneerd met hars en andere bindingsmaterialen, en de geïmpregneerde spaties worden in meerdere lagen gestapeld volgens de vereiste hard viltdikte.
De impregnatie in de productie van zacht vilt is voornamelijk impregnering met katalysatoren om viscose -vezels stabieler te maken in de daaropvolgende warmtebehandeling; terwijl de impregnering van rigide grafiet vilt voornamelijk impregnering is met thermohardende hars. In het daaropvolgende verwarmings- en uithardingsproces stolt de vloeistofhars en worden de meerdere lagen zachte vilt strak gecombineerd met de hars om te vormen.
Hars + koolstofvezel grafiet zacht vilt maakt het materiaal in staat het effect van "1 + 1> 2" in sommige eigenschappen te bereiken. After heating and curing, the multi-layered soft felt impregnated with resin can no longer be rolled up like soft felt, and the density and compressive strength of the material are also increased.
Tijdens de PVT -groei van enkele kristallen speelt koolstofvezelgevoel een rol bij het behoud van warmte. De zuiverheid van rigide grafiet vilt is cruciaal voor de succesvolle groei van SIC -kristallen. Onzuiverheden in de isolatie vonden materiaal zijn een van de bronnen van onzuiverheidsverontreiniging tijdens het groeiproces. De inhoud van belangrijke onzuiverheidselementen in vilt van koolstofvezel wordt onder 10-6 geregeld en het totale asgehalte moet strikt worden gecontroleerd. Volgens het octrooi neemt het verschillende high-temperature multi-stage zuiveringsbehandelingsmethoden over, met behulp van meerdere gascirculatiestappen in elke fase om hoogsmeltende puntonzuiverheden om te zetten in low-smelling puntverbindingen, en ontladingsismacht gassen, en uiteindelijk een hoog zuivere koolstofvezelvilt, waarvan het assgehalte minder dan 20 mg · kg en AL, B, B, B, F, V, V, V, V, V, V, V, Verkleed, minder dan 0,1mg. Kg.
Rigide grafiet vilt heeft ook belangrijke technologieën voor stromingsvelduniformiteitscontrole, inclusief temperatuurveld- en gasstroomvelduniformiteitsregeling. Het temperatuurveld wordt geüniformiseerd in de enkele kristaloven door gebieden met temperatuurcompensatie, meerdere zone onafhankelijke temperatuurregeling te ontwerpen en de vorm en lay-out van de verwarming te wijzigen.