Semicorex rigide isolatie is een krachtige korte vezelhard vilt, speciaal ontwikkeld voor thermisch beheer in epitaxy-apparatuur. Het kiezen van semicorex betekent het kiezen van bewezen expertise, premium materialen en aangepaste oplossingen die zorgen voor de hoogste zuiverheid, betrouwbaarheid en efficiëntie voor uw halfgeleiderproductieprocessen.*
Semicorex rigide isolatie is speciaal ontworpen voor SiC-epitaxiaal proces, met unieke assemblagestructuur, hoge weerstand, vonkenpreventie en goede thermische isolatieprestaties. De rigide isolatie is een krachtige thermische barrière gemaakt van premium korte keramische vezels. Dit rigide isolatiemateriaal is ontworpen in een harde viltstructuur en combineert uitstekende mechanische sterkte met superieure thermische isolatie -eigenschappen, waardoor het ideaal is voor de veeleisende omstandigheden in de productie van halfgeleiders.
Silicium en siliciumcarbide van halfgeleiders moeten meestal worden voorbereid in een omgeving op de hoge temperatuur met behulp van specifieke instrumenten zoals siliconen met één kristal en siliciumcarbide met een enkele kristal groeigovens, en er zijn strengere vereisten voor de voorbereidingsomgeving. Het handhaven van de voorbereidingstemperatuur en de vermindering van externe onzuiverheidsinterferentie bijvoorbeeld. Om deze reden ontstond een thermische isolatie die werd geweven door koolstofvezel met een hoog zuivere, en met zijn voordelen van gemakkelijke gieten, niet gemakkelijk te breken, sterke thermische isolatieprestaties en een lage onzuiverheidsgehalte, werd het een echte "warme kleding" vóór de geboorte van halfgeleiders.
Het gebruik van pan-gebaseerde koolstofvezelvilt en op viscose gebaseerde koolstofvezel gevoeld als grondstoffen, wordt stijve isolatie bereid door processen zoals weken, binding, uitharding, warmtebehandeling en bewerking. Het wordt op grote schaal gebruikt in apparatuur op hoge temperatuur zoals poedermetallurgie industriële ovens, stofzuigers, fotovoltaïsche enkelvoudige kristalovens, polykristallijne ovens en halfgeleider kristalgroeibovens. Het heeft een goede drukweerstand en uitstekende thermische isolatieprestaties. In vergelijking met zachte vilt heeft rigide isolatie de voordelen van eenvoudige installatie, stabiele grootte, lage thermische isolatie -verzwakking en lange levensduur.