Kwartsdiffusiebuizen van halfgeleiderkwaliteit

Kwarts botenworden meestal gebruikt in bedrijfsomstandigheden bij hoge temperaturen en zware chemische corrosie. Tijdens de operatie worden halfgeleiderwafels in de kwartsboot geplaatst en in de kwartsdiffusiebuis gestoken. Wanneer de diffusiebuis de vereiste temperatuur bereikt (enkele honderden tot enkele duizenden graden Celsius), worden procesgassen (bijv. O₂, N₂, H₂, Ar) en doteringsgassen (bijv. POCl3, BBr3) via gaspoorten in de kwartsdiffusiebuis geïntroduceerd om de oxidatie, diffusie en uitgloeien op halfgeleiderwafels uit te voeren. Om de uniformiteit en nauwkeurigheid van de diffusie te verbeteren, moeten sommige diffusieprocessen bovendien worden uitgevoerd in een lagedrukomgeving. 

Bij geavanceerde productieprocessen voor halfgeleiders kan elke kleine fout of tekortkoming in deze processen leiden tot het mislukken van volgende processen. Daarom is de kwaliteit van kwartsdiffusiebuizen, als cruciale onderdelen van de productie van halfgeleiders, aanzienlijk belangrijk en heeft deze een directe invloed op de opbrengst en prestaties van halfgeleiderapparaten.

De Specificaties van Semicorex Kwarts van halfgeleiderkwaliteit

Semicorex kwartsdiffusiebuizen van halfgeleiderkwaliteit zijn zorgvuldig vervaardigd uit hoogwaardige materialenkwarts van halfgeleiderkwaliteitmateriaal. Hieronder volgen de specifieke parameters:

De parameters kunnen worden aangepast aan de eisen van de klant.

De prestaties van Semicorex kwartsdiffusiebuizen van halfgeleiderkwaliteit

Vertrouwend op onze ervaren verwerkingstechnologie en betrouwbare materiaalselectie, Semicorex-halfgeleiderkwaliteitkwarts diffusiebuizendemonstreren superieure prestaties onder de uitdagende bedrijfsomstandigheden:

1. Weerstandsprestaties op hoge temperatuur

Semicorex kwartsdiffusiebuizen van halfgeleiderkwaliteit bieden een opmerkelijke weerstand tegen hoge temperaturen, waardoor ze stabiel kunnen werken in omgevingen met hoge temperaturen tot 1200 ℃ zonder enige vervorming of schade.

2. Thermische stabiliteitsprestaties

Met een uitzonderlijke thermische uitzettingscoëfficiënt zijn Semicorex kwartsdiffusiebuizen van halfgeleiderkwaliteit bestand tegen thermische spanning tijdens snelle verwarming of afkoeling zonder gemakkelijk te barsten of te vervormen.

3. Chemische bestendigheid

Semicorex kwartsdiffusiebuizen van halfgeleiderkwaliteit leveren superieure chemische inertheid in agressieve corrosieve omgevingen met hoge temperaturen. Deze prestatie voorkomt in grote mate dat de verontreinigingen die ontstaan ​​door hun reactie met procesgassen de kwaliteit van de wafel beïnvloeden.