Semicorex halfgeleidergrafietverwarmer is een hoog rendement verwarmingsapparaat gemaakt van hoogwaardig isostatisch grafiet. Het wordt veel gebruikt in de kernprocesverbindingen van de halfgeleiderproductie, zoals het thermische veld van kristalgroeiovens, epitaxiale groeiprocessen, ionenimplantatieapparatuur, plasma-etsapparatuur en de productie van sintermatrijzen voor halfgeleiderapparaten.
HalfgeleiderHalfgeleideris een geavanceerd verwarmingsapparaat gemaakt van zeer zuiver isostatisch grafietmateriaal. De uitstekende elektrische geleidbaarheid en thermische geleidbaarheid zorgen voor een nauwkeurige temperatuurregeling en uniforme warmteverdeling voor de groei en verwerking van halfgeleidermaterialen. Wanneer de elektrische stroom door de verwarmer gaat, overwint deze de interne elektrische weerstand van het grafiet, waardoor elektrische energie wordt omgezet in warmte, waardoor de grafiettemperatuur stijgt en verwarming wordt bereikt. Nauwkeurige temperatuurregeling kan doorgaans worden bereikt door de elektrische stroomsterkte en de verwarmingsweerstand aan te passen.
De zorgvuldig geselecteerde hoge zuiverheid van Semicorexisostatisch grafietvertoont een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor het snel en gelijkmatig warmte naar elke hoek van het verwarmingsgebied kan overbrengen, waardoor plaatselijke oververhitting effectief wordt voorkomen.
Met name bij blootstelling aan extreem hoge temperaturen, zoals boogablatie bij ultrahoge temperaturen, behoudt isostatisch grafiet met hoge zuiverheid stabiele fysische en chemische eigenschappen. Door de intense hitte zouden materialen normaal gesproken smelten, vervormen of oxideren, maar dit type grafiet is in staat deze veranderingen te weerstaan. Dit maakt het zeer geschikt voor processen bij hoge temperaturen bij de productie van halfgeleiders, waaronder het trekken van monokristallijn silicium en de groei van siliciumcarbidekristallen.
Halfgeleidergrafietverwarmer wordt gekenmerkt door energie-efficiëntie. Het vereist geen voorverwarmen, bereikt snel de ingestelde temperatuur en realiseert aanzienlijke energiebesparingen in vergelijking met traditionele verwarmingstoestellen. De hoge thermische conversie-efficiëntie vermindert effectief het energieverbruik, waardoor energiebesparing en verbruiksreductie worden gerealiseerd. Tijdens bedrijf produceert het geen verontreinigende stoffen of uitlaatgassen en voldoet het aan de milieueisen.
Bovendien heeft de halfgeleidergrafietverwarmer een lange levensduur. Zeer zuiver isostatisch grafiet geeft ze superieure mechanische sterkte, sterke corrosieweerstand en uitstekende thermische schokbestendigheid. Ze zijn minder gevoelig voor factoren zoals hoge temperaturen en chemische corrosie, waardoor een langere levensduur mogelijk is.