Semiconductor Quartz smeltkroes

Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles zijn verbruiksproducten in de halfgeleiderindustrie specifiek voor de Quartz -smeltkroes die worden gebruikt in het kristaluittrekproces van silicium enkele kristalproductie. Ze worden vervaardigd uit ultrazuivere gesmolten kwarts die voldoen aan netheid, homogeniteit en hittebestendigheid en worden vervaardigd om te voldoen aan de hoge eisen van de moderne halfgeleiderproductie. Ze zijn van vitaal belang voor de Silicon Ingot -specificatie omdat hun attributen direct invloed hebben op de wafersprestaties en opbrengst in geïntegreerde circuitverwerking.

Vanuit thermisch en fysiek oogpunt: Quartz Crucibles kunnen warmte zeer goed weerstaan. Het vervormingspunt is ongeveer 1100 ° C, het verzachtpunt is ongeveer 1730 ° C en de maximale continue servicetemperatuur is 1100 ° C, [kortetermijnblootstelling tot 1450 ° C]. Deze eigenschappen maken de bruikbaarheid bij hoge temperaturen mogelijk en bieden een hoge zuiverheid en thermische veerkracht, en bevorderen daarom stabiliteit tijdens de Czochralski (CZ) kristal -trekprocessen, waar verontreiniging en vervorming moeten worden geminimaliseerd en nauwkeurige thermische profielen voorop staan ​​om homogeen kristalgroei te verkrijgen.

Vanuit een structureel perspectief bestaan ​​halfgeleider kwarts smeltkroes uit een gelaagde composietstructuur die is ontworpen voor thermische eigenschappen en mechanische sterkte. De startende (naar binnen bewegen) laag is een transparante kwartslaag die in het algemeen een derde van de wanddikte (ongeveer 3-5 mm) is en een relatief lage bellengehalte heeft (afhankelijk van de verwerkingstechniek) en daarom een ​​soepel defectvrij oppervlak zal in contact komen met de molten silicium quartz-oppervlak (dit bijdraagt ​​aan het controleren van contaminatie en stabiele omstandigheden voor kristalgroei).

De buitenkant is gelaagd met een groter niveau van bubbels die bijdragen aan de vervormingssterkte van de smeltkroes, hogere thermische spanningsweerstand en thermische isolatie van de warmtebron voor stralingsuniformiteit. De lagen van de smeltkroes stellen het in staat om vorm en integriteit te handhaven, ondanks districtsdifferentiële thermische gradiënten die bestaan ​​in het kristal -trekproces.

Moderne Quartz-smeltkroes hebben zich verder ontwikkeld dan de traditionele tweelaagse structuur vanwege de vooruitgang in de productietechnologie. Veel smeltkraken maken gebruik van een structuur met drie lagen-een transparante binnenste laag, transparante middelste laag met bubbels die door het kwarts worden verspreid, en een buitenste dunne laag bubbels kwarts. Drie-laags structuren bieden een betere mechanische sterkte, thermisch beheer en kostenvoordelen en verbeteren de kenmerken van warmteoverdracht. Ook passen sommige smeltkroes coatings van alkali-metaalionen (bijv. Barium-ionenoplossingen) op het binnenste oppervlak, of gebruiken ze synthetische kwarts met hoge zuiverheid in specifieke lagen, om het zuurstofgehalte, het uitputten van zuiverheden te verminderen en de algehele kwaliteit van de getrokken enkele kristallen te verbeteren.

Productiekwarts smeltkroes voor halfgeleiders is bedoeld om te worden vastgehouden aan strikte kwaliteitscontroletoleranties bij de benodigde zuiverheden, wat meestal verschillende delen per miljard metalen onzuiverheden is. De grondstoffen worden zorgvuldig geselecteerd en gezuiverd om verontreinigingen te verwijderen. Ze worden gevormd tot ruwe afmetingen, met de juiste thermische behandeling toegepast en het oppervlak afgewerkt om dimensionale nauwkeurigheid, mechanische sterkte en netheid aan te pakken. Het proces is gericht op het verzekeren dat de smeltkroes betrouwbaar blijven en worden onderworpen aan langdurige blootstelling aan hoge temperatuur in harde chemische omgevingen.

De prestaties van de Quartz Crucible in halfgeleiderproductie beïnvloedt de uniformiteit van het siliciumkristalrooster, de defectdichtheid en de zuurstof in de ingot. Hoge zuiverheden en defectvrije kwarts-smeltkroes, zullen de dislocatie van kristaldefecten beperken, de opbrengstsnelheid verbeteren en het vermogen vaststellen om wafels te genereren om geometrieën van het apparaat te bevorderen. Als u een producent bent van HGH-performance IC's, fotovoltaïsche silicium of stroomelektronica, is het selecteren en gebruiken van kwarts van hoge kwaliteit een cruciaal element voor het vaststellen en optimaliseren van kostenpercentage.

SemicorexHalfgeleider kwartsGruisjes zijn een essentieel hulpmateriaal voor elk siliciumkristallen treksysteem. De unieke attributen van zuiverheid, stabiliteit met hoge temperatuur en gepatenteerde meerlagige structuren maken dit een geschikt materiaal voor het ondersteunen van de ontberingen van het CZ-trekproces en biedt consistente en reproduceerbare prestaties. Naarmate de productie van halfgeleiders zich verplaatst naar hogere integratie en strakkere toleranties, zullen de significante voordelen met toegevoegde waarde van precisie-engineered quartz-smeltkroes meer belang genereren voor het inschakelen en ontwikkelen van de volgende generatie elektronische technologieën.