SiC-gecoate grafietkroezen

Geïnstalleerd in het centrum van kristalgroeiovens op hoge temperatuur,SiC-gecoatgrafietkroezen werken in combinatie met verwarmingselementen, thermische isolatiehulzen, stroomgeleidingsbuizen en kroesschachten om het complete thermische veldsysteem te vormen. Dit thermische veldsysteem kan een stabiele omgeving met hoge temperaturen handhaven die essentieel is voor kristalgroei.

De productie van SiC-gecoatgrafietkroezenbegint meestal met het gebruik van de geavanceerde chemische dampafzettingstechnologie om een ​​dichte massa gelijkmatig af te zettensiliciumcarbidecoating op het oppervlak van het gevormde grafietsubstraat. Samengesteld uit de hoge zuiverheidgrafietsubstraat en de dichte siliciumcarbidecoating vormt de met SiC gecoate grafietkroes een synergetische structuur die de thermische geleidbaarheid van grafiet combineert met de corrosieweerstand van siliciumcarbide.

Bij hoge temperaturen vormen met SiC gecoate grafietkroezen een dichte beschermende laag van siliciumcarbide. Deze beschermende laag kan het grafietsubstraat isoleren van siliciumdamp en gesmolten silicium, waardoor de risico's van corrosie van het grafietsubstraat en kristalverontreiniging die gepaard gaan met het afbladderen van de coating worden geminimaliseerd. Daarom zijn de SiC-gecoate grafietkroezen van Semicorex bestand tegen verschillende complexe corrosie-omgevingen bij hoge temperaturen gedurende langere perioden tijdens feitelijk gebruik. Dit zorgt voor een consistente kristalsamenstelling en vermindert het aantal defecten, die beide essentieel zijn voor de productie van halfgeleiderkristallen van hoge kwaliteit.

Bij hoge temperaturen vormen met SiC gecoate grafietkroezen een dichte beschermende laag van siliciumcarbide. Deze beschermende laag kan het grafietsubstraat isoleren van siliciumdamp en gesmolten silicium, waardoor de risico's van corrosie van het grafietsubstraat en kristalverontreiniging die gepaard gaan met het afbladderen van de coating worden geminimaliseerd. Daarom zijn de SiC-gecoate grafietkroezen van Semicorex bestand tegen verschillende complexe corrosie-omgevingen bij hoge temperaturen gedurende langere perioden tijdens feitelijk gebruik. Dit zorgt voor een consistente kristalsamenstelling en vermindert het aantal defecten, die beide essentieel zijn voor de productie van halfgeleiderkristallen van hoge kwaliteit.