Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex SIC-vacuüm kissen zijn krachtige keramische armatuur ontworpen voor veilige waferadsorptie bij de productie van halfgeleiders. Met superieure thermische, mechanische en chemische eigenschappen zorgt het voor stabiliteit en precisie in veeleisende procesomgevingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex PBN-composietverwarmers zijn geavanceerde verwarmingselementen ontworpen voor hoogtemperatuur, ultra-schone vacuümomgevingen, veel gebruikt in halfgeleider, opto-elektronica en materiaalonderzoeksindustrieën. Kies Semicorex voor toonaangevende expertise, aanpassing aan kleine batch en kwaliteit van wereldklasse in PBN-verwarmingsoplossingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC Cantilever-peddels zijn krachtige siliciumcarbide Cantilever-peddels die worden gebruikt in halfgeleider thermische verwerkingsapparatuur, ontworpen voor stabiele waferafhandeling in omgevingen bij hoge temperatuur. Het kiezen van semicorex betekent het kiezen van hoogzuiver materiaal, uitstekende thermische stabiliteit en toonaangevende precisieproductietechnologie om ervoor te zorgen dat elk kritisch proces van u stabiel en betrouwbaar is.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC -boothouders zijn essentiële structurele componenten die zorgen voor precieze en betrouwbare wafelpositionering bij thermische verwerking van halfgeleiders. Kies Semicorex voor ongeëvenaarde kwaliteit, technische expertise en een toewijding aan het bevorderen van hoge-zuivere SIC-oplossingen in de productie van halfgeleiders.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex-wafelboten zijn precisie-ontworpen keramische dragers die zijn ontworpen voor wafelverwerking op hoge temperatuur bij de productie van halfgeleiders. Kies Semicorex vanwege zijn ongeëvenaarde materiaalzuiverheid, geavanceerde fabricagetechnologie en toewijding aan kwaliteit die zorgt voor consistente prestaties in de meest veeleisende cleanroom -omgevingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC-buizen zijn siliciumcarbide-ovenbuizen ontworpen voor halfgeleider hoge temperatuurprocessen, met uitstekende thermische stabiliteit en chemische corrosieweerstand. Het kiezen van semicorex hoogzuivere grondstoffen, precisieproductieprocessen en langetermijnbetrouwbaarheidsgaranties om solide ondersteuning te bieden voor uw halfgeleiderproductieproces.*
Lees verderStuur onderzoek