Teflon Cassettes

Semicorex Teflon-cassettes zijn krachtige wafeldragers die specifiek zijn ontworpen voor gebruik in veeleisende chemische omgevingen waar zuiverheid, chemische weerstand en thermische stabiliteit essentieel zijn. Gemaakt van hoogwaardige polytetrluorethyleen (PTFE), worden deze cassettes veel gebruikt in de productie van halfgeleiders, natte etsen, chemische reiniging en andere toepassingen waarbij blootstelling aan zeer agressieve chemicaliën routine is. Hun niet-reactieve aard maakt hen ideaal voor het verwerken van delicate substraten zoals siliciumwafels, glazen panelen en andere precisiecomponenten zonder verontreiniging of deeltjes in het proces te introduceren.

In verschillende processen van halfgeleiderproductie, zoals lithografie, etsen en ionenimplantatie, spelen cassettes een rol bij het transport en het overbrengen van wafels tussen verschillende apparaten. Verschillende procesapparatuur kan verschillende interfacevereisten hebben voor cassettes om ervoor te zorgen dat wafelragers nauwkeurig kunnen worden ontvangen en geplaatst.

Vanuit het perspectief van materiaal en design hebben materialen die warmtebestendig zijn, uitstekende mechanische eigenschappen, dimensionale stabiliteit en zijn duurzaam, antistatisch, lage outgassing, lage neerslag en recyclebaar worden in het algemeen gebruikt. Verschillende wafelgroottes, procesknooppunten en processen gebruiken verschillende materialen. De algemene materialen zijn PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, enz.

Teflon -cassettes bieden superieure chemische resistentie in omgevingen met behulp van hydrofluorzuur, salpeterzuur, zwavelzuur en andere sterke corrosieven. In tegenstelling tot conventionele materialen zoals polypropyleen of roestvrij staal, degradeert PTFE niet af; zwelt niet; Loog geen stoffen uit in harde chemische baden. De prestaties worden daarom gedurende lange periodes gegarandeerd en dus de betrouwbaarheid van de cassettes voor productielijnen met high-throughput en ultra-schone omgevingen. De robuustheid betekent lagere onderhoudsbehoeften en vervangingsfrequentie, waardoor de bedrijfskosten op lange termijn worden verlaagd.

Teflon -cassettes vertonen een zeer hoge thermische stabiliteit. Ze kunnen gemakkelijk de temperaturen weerstaan van -200 ° C tot +260 ° C, van toepassing op zowel cryogene als voor hoge -temperatuurprocessen. Zelfs geplaatst in verwarmde droogkamers of koude chemische baden, verliezen de cassettes hun structurele sterkte niet; Ze kromt niet of kraken niet, zodat wafels tijdens de verwerking veilig worden vastgehouden. Deze temperatuurveerkracht draagt aanzienlijk bij aan het verwerken van controle en uniformiteit, die van cruciaal belang zijn voor de fabricage van halfgeleider en MEMS.

Een even belangrijk kenmerk van Teflon-cassettes is het inerte, anti-aanbakoppervlak. PTFE staat inherent geen adsorptie van deeltjes en chemische residuen toe, waardoor de risico's van besmetting in cleanroomomgevingen worden verminderd. Dit moet worden gekoppeld aan een gladde oppervlakte -afwerking waardoor het gemakkelijk kan worden gespoeld en snel drogen, dus schonere resultaten en snellere cyclustijden resulteren. In halfgeleiderverwerking, waar defecten kunnen worden veroorzaakt door zelfs microscopische verontreinigingen, is dit netheids- en chemische inertniveau verplicht.

Elke cassette wordt nauwkeurig gemaakt tot toleranties van krappe grootte, waardoor een gestage waferuitlijning en afstand wordt gegarandeerd terwijl hij wordt verplaatst en in vloeistof wordt geplaatst. Hun gemakkelijk ontworpen vorm helpt snelle chemische stroming en drainage, die chemische wisselkoersen versnelt en de reiniging of ets uniformiteit op het wafeloppervlak verbetert.  De cassettes zijn beschikbaar in standaardgroottes voor 4-inch, 6-inch en 8-inch wafels, met aanpassingsopties die beschikbaar zijn om specifieke substraatafmetingen, sleuftellingen en hanteringseisen te passen.

Ontworpen voor compatibiliteit met geautomatiseerde natte banken en robotachtige waferafhandelingssystemen, integreren Teflon -cassettes gemakkelijk in de meeste halfgeleiderproductie -opstellingen. Hun robuuste constructie en cleanroom-grade afwerking voldoen aan de strenge eisen van ISO-gecertificeerde omgevingen. Alle cassettes ondergaan grondige inspectie en zijn vooraf gereinigd in ultrazuiver water om te voldoen aan de netheidsnormen die nodig zijn voor geavanceerde productie van micro-elektronica. Certificaten van conformiteit en traceerbaarheid van volledige materiaal kunnen worden verstrekt om de naleving van kwaliteitsborgingsprotocollen te waarborgen.