Verticale kwartswaferboten

Bij productieprocessen voor halfgeleiders moeten halfgeleidercomponenten in de reactiekamer voldoen aan strikte normen voor hoge zuiverheid. Anders kunnen zelfs onzuiverheden of verontreinigingen op micro- of nanoschaal onomkeerbare schade aan de prestaties en opbrengst van halfgeleiderapparaten veroorzaken.

Kwartswafelbotenworden gewoonlijk verticaal geïnstalleerd in reactiekamers met hoge temperaturen, zoals diffusieovens, oxidatieovens en gloeiovens, waar ze in direct contact moeten staan ​​met de wafers. De verticale kwartswafelboten van Semicorex worden vervaardigd uit zeer zuivere kwartsmaterialen om aan deze hoge eisen op het gebied van netheid te voldoen. Deze verstandige materiaalkeuze voorkomt effectief waferverontreiniging veroorzaakt door reagentia die tijdens het productieproces uit de waferboten vrijkomen.

Bij de productie van halfgeleiders moeten waferboten niet alleen herhaalde verwarmings- en koelcycli ondergaan, maar ook bestand zijn tegen de corrosie van procesgassen gedurende langere tijd. Het verticale kwarts van Semicorexwafeltjeboten vertonen uitzonderlijke dimensionale stabiliteit in de uitdagende bedrijfsomstandigheden van constante thermische cycli vanwege hun inherente thermische stabiliteit. Deze superieure thermische eigenschappen voorkomen aanzienlijk vervorming van de wafel en schade veroorzaakt door precisiedegradatie of structurele vervorming van de verticale kwartswafelboten. Bovendien kunnen verticale kwartswafelboten dankzij hun hoge chemische inertheid bestand zijn tegen de reactie met corrosieve gassen zoals zuurstof, waterdamp, waterstofchloride en ammoniak. Deze eigenschap verkleint aanzienlijk de mogelijkheid dat chemische corrosie de structurele integriteit van de verticale kwartswafelboten in gevaar brengt.

Naast de hierboven genoemde prestatievoordelen, demonstreren de verticale kwartswaferboten van Semicorex ook een uitstekende concurrentiepositie op het gebied van maatnauwkeurigheid en structureel ontwerp. Elk onderdeel ervan wordt vervaardigd door middel van precisiebewerkingstechnieken. Deze nauwkeurige dimensionale controle zorgt voor een nauwkeurige positionering van de wafer, waardoor krassen en scheuren veroorzaakt door verplaatsing of botsingen tijdens het laden, verwerken en lossen tot een minimum worden beperkt.