Wafelrand slijpende chuck

Semicorex Wafer Edge slijpende Chuck is een speciaal keramisch onderdeel dat is gemaakt voor het wafelrandslijpproces tijdens de productie van halfgeleiders. Het keramiek is gemaakt van hoge zuiverheid, witte aluminiumoxide (al₂o₃) met mechanische sterkte, chemische resistentie en dimensionale stabiliteit om het waferslijpproces te ondersteunen. Aangezien nieuwe technologieën grotere wafeldiameters en meer delicate structuren in de apparaten vereisen, speelt het slijpen van waferrand nu een belangrijke rol bij het voorkomen van randchippen, micro-cracking en opbrengst. De aluminiumoxide keramische slijpende Chuck biedt een gestage basislijn om aan deze strikte productie -eisen te voldoen.

Aluminiumair keramiekwordt gebruikt als het constructiemateriaal vanwege zijn ongelooflijke fysische, chemische en thermische eigenschappen. Wit aluminiumoxide heeft een uitstekende hardheid met alleen de diamant, die hoger scoort op de MOHS Hardness Scale, waardoor de slijpbuik slijtage en slijtage in de nabije toekomst kan weerstaan ​​met repetitief gebruik. Gezien de aanzienlijke mechanische sterkte van aluminiumoxide, kan de wafer veilig worden begrepen en vastgehouden, terwijl de stijfheid van het aluminiumoxide geen vervorming of vervorming toestaat wanneer er belasting op het onderdeel wordt toegepast. Gezien dit is aluminiumoxide een uitstekende keuze om armaturen en steunen te produceren waar precisie en duurzaamheid vereist zijn.

Thermische stabiliteit is ook een onderscheidende eigenschap van aluminiumoxide keramiek. Met een smeltpunt groter dan 2000 ° C en thermische schokstabiliteit, kan de klootzak lopen in omstandigheden waar wrijvingsverwarming of temperatuurverandering kan optreden, is het consistent W.R.T waar dimensionale stabiliteit van cruciaal belang is, hoewel de slijprandvorm een ​​beetje verandering in dimensie kan geven. De klemkracht blijft sterk voor het consequent handhaven van de uitlijning bij het slijpen van rand. De lage thermische geleidbaarheid van aluminiumoxide mag niet toestaan ​​dat gelokaliseerde verwarming de wafer voldoende omhoog kan verwarmen voor elk compromis van de integriteit van de wafer bij het verwerken van delicate substraten halfgeleiders.

Vanuit chemisch perspectief heeft aluminiumoxide -keramiek weinig reactie op zuren, alkalisten en de plasma -omgevingen van halfgeleiderverwerking. In tegenstelling tot metallische klootzakken die kunnen corroderen of polymere armaturen die kunnen blijven degraderen zonder expliciete monitoring, is aluminiumoxidekeramiek immuun voor deze dagelijkse servicecycli in halfgeleiderverwerking. Deze inertheid zorgt voor nulverontreiniging van het waferoppervlak en zal de zuiverheid van het proces behouden terwijl het renteverlies wordt beperkt.

In het hedendaagse halfgeleiderproductielandschap is het proces van edge slijpen veelzijdig: het bereidt de wafer voor op latere verwerking en biedt ook veilig transport, hantering en integratie met de meest geavanceerde lithografie en etsen. Hierin is de waferrand slijpende Chuck een belangrijk stukje van de puzzel van het veilig bevestigen van de wafer, nauwkeurig vasthouden, en het draagt ​​direct bij aan het afvalbetrouwbaarheid en productprestaties. Met de investering in aluminiumoxide keramiek wordt de tijd bespaard door de langdurige levensduur van een dergelijk actief te hebben om downtime te beperken, de onderdelenkosten te verlagen en de effectiviteit van apparatuur (OEE) te maximaliseren.

De wafelrand slijpende chuck gemaakt vanaluminiumair keramiekvertegenwoordigt alle voordelen van geavanceerde materiële wetenschap en precisie -engineering. Het is een voorbeeld van de kwaliteiten van hardheid, slijtvastheid, thermische stabiliteit en chemische inertie die nodig is voor het fabricageproces van het halfgeleiderwafer. Robuuste prestaties kunnen leiden tot een betrouwbare wafelrandkwaliteit, goede opbrengst en uitgebreide levensduur van apparatuur. Voor halfgeleiderfabrikanten die zich inzetten voor onberispelijke precisie en efficiëntie, is de aluminiumoxide -wafelrand slijpchuck de oplossing.