15" kwarts stolp

Semicorex 15" Quartz Bell Jar is ontworpen om deze uitdagingen aan te gaan en biedt een krachtige oplossing voor batchverwerking op middelgrote tot grote schaal, waarbij thermische uniformiteit en materiaalzuiverheid essentieel zijn voor het maximaliseren van de opbrengst. In de halfgeleider- en dunnefilmindustrieën is de integriteit van de proceskamer van het grootste belang. Naarmate de wafelgroottes groter worden en de knooppunten kleiner worden, wordt de eis voor een schone, stabiele en chemisch inerte omgeving niet meer onderhandelbaar.

1. Materiaalkunde: de zuiverheid van gesmolten silica

De basis van onze stolp is hoge zuiverheidgesmolten silica (kwarts). In tegenstelling tot standaardglas bestaat kwarts vrijwel volledig uit SiO2, wat unieke eigenschappen biedt die essentieel zijn voor de fabricage van halfgeleiders:

Ultra-lage verontreiniging: Ons kwarts wordt verwerkt om metalen sporenelementen (zoals Al, Fe, Na en K) te minimaliseren tot het niveau van delen per miljard (ppb). Dit voorkomt de diffusie van onzuiverheden in de wafer tijdens cycli met hoge temperaturen, waardoor de elektrische integriteit van de apparaten wordt gewaarborgd.

Superieure thermische schokbestendigheid: Kwarts heeft een thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE) van bijna nul. Hierdoor is de 15" Quartz Bell Jar bestand tegen snelle temperatuurstijgingen en -afkoeling zonder het risico op breuk of structurele vermoeidheid - een cruciale vereiste voor reactoren met een hoge doorvoer.

Uitstekende chemische inertie: Kwarts is zeer goed bestand tegen de meeste zuren (met uitzondering van fluorwaterstofzuur) en corrosieve procesgassen, waardoor wordt gegarandeerd dat de kamer niet wordt afgebroken of uitgegast tijdens agressieve ets- of afzettingscycli.

2. Precisietechniek en optische helderheid

De 15" Quartz Bell Jar biedt een maximaal volume en een optimale gasstroomdynamiek ten behoeve van batchverwerking van wafels. De pot heeft een verticale schoorsteen (ook bekend als een nek) die optimaal is ontworpen om een ​​inlaat voor gas te bieden of om te helpen bij het extraheren van gas door een vacuüm uit de pot, zoals weergegeven in de afbeelding hierboven.

Optische transparantie - Het hoge transmissieniveau vankwarts materiaalhet uitzenden van golflengten in de ultraviolette, zichtbare en infrarode gebieden van het spectrum maakt real-time verwerking mogelijk, evenals het gebruik van externe lampverwarmers voor snelle thermische verwerking (RTP).

Versterkte afdichtingsoppervlakken - De hals van de pot heeft een speciaal ontwikkelde ondoorzichtige witte afdichting (ook wel een geslepen verbinding genoemd) die zorgt voor een hermetische (luchtdichte) en vacuümdichte interface tussen de reactorbasisplaat en de pot.

Gloeien voor spanningsverlichting - Alle 15" kwartsklokken ondergaan een rigoureus thermisch gloeiproces om de interne mechanische spanning te verlichten die op de pot is uitgeoefend door het mechanische proces van het blazen of vormen van de pot, waardoor de kans aanzienlijk wordt verkleind dat een pot spontaan faalt wanneer deze onder vacuümbelasting wordt geplaatst.

3. Kritieke toepassingen in de halfgeleiderfabriek

Onze 15" Quartz Bell Jar is speciaal ontworpen voor integratie in de volgende hoogwaardige processen:

Siliciumepitaxie: Biedt een transparant, niet-reactief vat voor het groeien van hoogwaardige monokristallijne siliciumlagen.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Bestand tegen de corrosieve plasmaomgeving met behoud van hoge diëlektrische sterkte.

Diffusie en oxidatie: Dient als een schone kamer met hoge hitte voor de vorming van poortoxiden en het indrijven van doteermiddelen.

Productie van optische vezelvoorvormen: Ideaal voor de zeer zuivere afzetting van silicalagen bij de productie van speciaal glas.

Bij Semicorex behandelen we elke stolp als een precisie-laboratoriumapparaat. Ons proces omvat: Strikte materiaalinkoop met geverifieerde elektronische kwaliteitkwartsblokken; geavanceerde fabricage die traditionele glasblaasvaardigheden combineert met CNC-gestuurd slijpen en polijsten; en grondige inspectie met gepolariseerd licht om restspanningen te detecteren en laserinterferometrie voor nauwkeurige dimensionale controles.