8-inch wafelholder ringen

Semicorex 8-inch wafelholderringen zijn geavanceerde halfgeleiderverwerking hardware bedoeld om siliciumwafels veilig te beveiligen en te ondersteunen door belangrijke thermische, etsen en depositieprocessen. Geconstrueerd van hoogwaardig grafiet met een dichtCoating of Silicon Carbide (sic)Voor extra sterkte levert de waferhouderring superieure thermische stabiliteit, chemische weerstand en mechanische sterkte op, waardoor het ideaal wordt voor gebruik in hoge-temperatuur- en corrosieve omgevingen zoals CVD (chemische dampafzetting), PECVD en epitaxiefystemen.

Belangrijkste kenmerken:

Materiaalsamenstelling:

Het substraatmateriaal isHigh-zuiver grafiet, die is geselecteerd voor hoge thermische geleidbaarheid en structurele homogeniteit. Hoge dichtheid en uniformSiliconencarbide (SIC) filmcoatingwordt op het oppervlak aangebracht, wat een hoge weerstand tegen oxidatie en chemische aanval vertoont, zelfs bij verhoogde temperaturen van meer dan 1000 ° C. Het mengsel bevat een houdbaarheid van lange duur en minimaal risico op besmetting van de wafels.

Beveilig wafelpositionering

In het bijzonder ontworpen om 8-inch (200 mm) wafels vast te houden, heeft de waferholderring precieze toleranties en een optimaal ontworpen binnenste geometrie om de wafer veilig vast te grijpen. De ring blijft stabiel in positie tijdens thermische cycli en gasstroom, waardoor microbeweging wordt geminimaliseerd die kan leiden tot deeltjescreatie of wafelbreuk.

Thermische uniformiteit:

De inherente thermische geleidbaarheid van het grafietsubstraat en de stabiliteit van de SIC -coating zorgen voor consistente warmteoverdracht over het wafeloppervlak. Dit resulteert in consistente procesresultaten, verminderde thermische stress en betere apparaatopbrengst.

Chemische en plasma -weerstand:

Het SIC -oppervlak beschermt de grafietkern tegen harde procesplasma's en gassen, en biedt een weerstand tegen herhaalde procescycli. Chemische inertie is vooral gunstig bij corrosieve halogeen-bevattende etchant- of reactieve gasomgevingen.

Aanpassing beschikbaar:

Ringen van 8-inch wafelholder kunnen op maat zijn ontworpen om te voldoen aan specifieke apparatuur of procesvereisten, d.w.z. variaties in randondersteuningontwerp, locatie van slots en montageconfiguratie. Onze ontwerpers werken met OEM's en Fabs om de hoogst mogelijke prestaties te bieden voor elk gebruik.

Toepassingen:

• Lpcvd / pecvd / apcvd
• Epitaxiale groeiprocessen
• Diffusiegeanen
• Verlichting op hoge temperatuur
• Andere halfgeleider thermische verwerkingssystemen

Elke 8-inch wafelholderringen ondergaat rigoureuze inspectie zoals dimensie-nauwkeurigheidsverificatie, coatingadhesietest en thermische cyclische kwalificatie. Onze geavanceerde productietechnologie zorgt voor uniforme SIC -coatingdikte en de beste oppervlakteafwerking om te voldoen aan de hoge eisen van de halfgeleiderindustrie.

Semicorex 8-inch wafelholderringen (SiC-gecoate grafiet) zijn een essentiële apparatuur voor de volgende generatie halfgeleiderproductie, die mechanische precisie, materiaal duurzaamheid en chemische stabiliteit bieden. Van de upgrades van procesapparatuur tot de bouw van wafelplatforms van de volgende generatie, dit product biedt de betrouwbaarheid en prestaties die nodig zijn om de veeleisende productieomgevingen van vandaag mogelijk te maken.