Ringvormige gegroefde aluminiumoxide klauwplaten

Semicorex aluminiumoxide klauwplaten met ringvormige groeven hebben een oppervlaktestructuur die bestaat uit een reeks meerdere concentrische ringvormige groeven. Wanneer ze zijn verbonden met de vacuümpomp, vormen deze groeven ringvormige negatieve drukzones om dunne wafers en werkstukken stabiel vast te houden met nauwkeurige positionering. Semicorex aluminiumoxide klauwplaten met ringvormige groeven functioneren goed onder werkomstandigheden die een strikt vlakheidsbeheer en gelijkmatig verdeelde adsorptiekracht vereisen, die op grote schaal worden toegepast bij het vasthouden van wafers, belichtingspositionering, plasma-etsen, evenals waferinspectie en overdrachtsprocessen.

Voordelen van Semicorex ringvormige gegroefde aluminiumoxide klauwplaten

1. Uitzonderlijke weerstand tegen hoge temperaturen

Aluminiumoxide-keramiek vervaardigd door verdichtingssinteren vertoont opmerkelijke thermische prestaties. Dankzij deze materiaaleigenschap presteren Semicorex aluminiumoxide klauwplaten met ringvormige groeven stabiel onder werkomgevingen met extreem hoge temperaturen, zonder structurele vervorming en prestatieverlies bij langdurig gebruik.

2. Uniforme adsorptiekracht

Semicorex ringvormig gegroefdaluminiumoxide klauwplatenhebben meerdere ringvormige groeven op hun adsorptieoppervlak, waarin stabiele ringvormige vacuümzones worden gevormd. Deze configuratie maakt een consistente adsorptiekracht over de belangrijkste contactgebieden van de wafel mogelijk, waardoor de gedeeltelijke vervorming en kromtrekking van de wafel aanzienlijk wordt verminderd.

3. Superieure structurele stabiliteit en hoge nauwkeurigheid bij herhaalde positionering

Met hun superieure materiaalstijfheid en structurele stabiliteit zijn Semicorex aluminiumoxide klauwplaten met ringvormige groeven in staat om uitstekende vlakheid en consistente positioneringsnauwkeurigheid te behouden tijdens herhaaldelijk vacuümklemmen gedurende een lange tijd.

4. Sterke chemische corrosieweerstand

VanwegealuminiumoxideDankzij de betrouwbare chemische stabiliteit zijn Semicorex aluminiumoxide klauwplaten met ringvormige groeven uitstekend bestand tegen de meeste zure en alkalische stoffen, evenals tegen verschillende corrosieve procesgassen, en zijn ze zeer geschikt voor uitdagende corrosieve bedrijfsomstandigheden.

5. Uitstekende netheid

Dankzij de strenge materiaalzuiverheidscontrole en verdichtingsbehandeling stoten Semicorex ringvormige gegroefde aluminiumoxide klauwplaten zelden deeltjes uit of komen onzuiverheden vrij tijdens gebruik, wat volledig voldoet aan de strenge normen voor lage verontreiniging in cleanrooms van halfgeleiders.

Waarom kiezen voor Semicorex?

Als toonaangevend bedrijf in China wordt Semicorex ondersteund door geïntegreerde productielijnen en een goed ervaren technisch team. We kunnen onze klanten technische ondersteuning op maat en geoptimaliseerde procesoplossingen bieden en hen voorzien van niet-standaard maatwerk bij de productie van onze aluminiumoxide klauwplaten met ringvormige groeven op het gebied van materiaalzuiverheid, vorm, afmetingen, vlakheid, toleranties en andere vereisten van de klauwplaat.