Alumina Bernoulli robotarmen

Robotarmen worden voornamelijk toegepast in de front-end processen van de productie van halfgeleiders, zoals fotolithografie en etsen, waar ze rechtstreeks deelnemen aan de behandeling, overdracht en positionering van halfgeleiderwafels. SemicorexaluminiumoxideBernoulli-robotarmen zijn keramische eindeffectoren die wafer-adsorptie en -overdracht bewerkstelligen op basis van het Bernoulli-principe, en uitzonderlijke prestaties leveren op het gebied van reinheid, stabiliteit, precisie, efficiëntie en betrouwbaarheid.

Contactloze adsorptie

Semicorex aluminiumoxide Bernoulli-robotarmen kunnen stevige en stabiele contactloze adsorptie van wafers bereiken door gebruik te maken van hun speciaal ontworpen configuratie en luchtstroomsysteem. Deze contactloze werkwijze kan direct contact met halfgeleiderwafels vermijden en waferverontreiniging of schade veroorzaakt door fysiek contact aanzienlijk voorkomen, wat vooral geschikt is voor ultraschone werkomstandigheden en delicate waferoverdracht.

Betrouwbare fysische en chemische prestaties

Aluminiumoxide-keramiek heeft een uitstekende hardheid en sterkte, waardoor Semicorex aluminiumoxide Bernoulli ontstaatrobotarmenzeer geschikt voor het langdurig hanteren van halfgeleiderwafels zonder vervorming en schade.

Semicorex aluminiumoxide Bernoulli-robotarmen bieden ook een betrouwbare weerstand tegen chemische corrosie en zijn bestand tegen de uitdagende corrosieve gassen en plasma-bedrijfsomgevingen, en vertonen een constante duurzaamheid gedurende een lange periode.

Strikte netheidscontrole

Semicorex aluminiumoxide Bernoulli-robotarmen worden vervaardigd uit zeer zuiver aluminiumoxidepoeder door middel van nauwkeurig isostatisch persen en sinteren op hoge temperatuur. Dankzij deze nauwkeurige materiaalselectie en verwerkingsmethode hebben Semicorex aluminiumoxide Bernoulli-robotarmen een pure en dichte keramische structuur. Dit verlaagt aanzienlijk de risico's van waferverontreiniging veroorzaakt door ongewenste onzuiverheden uit bedrijfsomstandigheden.

Superieure precisiecontrole

De Bernoulli-robotarmen van Semicorex aluminiumoxide zijn afgewerkt met nauwkeurig slijpen en polijsten en leveren uitzonderlijke maatnauwkeurigheid en superieure vlakheid van het oppervlak, waardoor ze zeer geschikt zijn voor uiterst nauwkeurige geautomatiseerde halfgeleiderproductie. Bovendien beschikken de Bernoulli-robotarmen van Semicorex aluminiumoxide over een uitstekende thermische stabiliteit, zelfs wanneer ze worden blootgesteld aan omgevingen met ernstige temperatuurschommelingen. Ze kunnen een uitstekende repetitieve positionerings- en handlingprecisie behouden.