Aluminiumoxide keramische manipulator

Keramische manipulator van aluminiumoxidewordt ook wel de aluminiumoxide-keramische vork- en wafelbehandelingseindeffector genoemd. Het wordt op de waferhanteringsrobot geïnstalleerd en is gelijkwaardig aan de hand van de robot. Het wordt gebruikt voor het dragen, transporteren en positioneren van halfgeleiderwafels.Siliciumwafelszijn uiterst gevoelig voor verontreiniging door andere deeltjes, daarom worden ze doorgaans in een vacuümomgeving gehanteerd om de reinheid te garanderen. Keramische manipulatoren van aluminiumoxide gebruiken zuigkracht onder negatieve druk om wafers te verwijderen en halfgeleiderwafels te transporteren door de telescopische, roterende en hefbewegingen van de arm. Er zijn luchtgaten en ventilatiegroeven in de keramische manipulator van aluminiumoxide, die een vacuüm kunnen vormen bij het pompen van lucht, zodat de halfgeleiderwafels kunnen worden geadsorbeerd door lichtcontact zonder de halfgeleiderwafels te beknellen of te beschadigen.

Het is bekend dat hoe zuiverder de samenstelling isaluminiumoxide keramiekis, hoe groter de kracht ervan zal zijn. Semicorex aluminiumoxide keramische manipulatoren zijn gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxide keramiek. Dit resulteert in uitzonderlijke mechanische sterkte en hardheid. Hun slijtvastheid is veel groter dan die van staal en chroomstaal, waardoor ze in omgevingen met hoge wrijving de oppervlaktenauwkeurigheid in de loop van de tijd kunnen behouden, waardoor het risico op wafelkrassen wordt verminderd en ze ideaal zijn voor uiterst nauwkeurige hantering. Deze aluminiumoxide-keramische manipulator heeft een hoge weerstand. De uitstekende elektrische isolatie-eigenschappen kunnen elektrostatische interferentie effectief voorkomen en het risico op deeltjesadsorptie verminderen om een ​​schoon wafeloppervlak te behouden. Bovendien brengt het fabricageproces van halfgeleiders complexe circuits en hoogspanningsomgevingen in de apparatuur met zich mee. De keramische manipulator van aluminiumoxide met hoge weerstand blokkeert effectief de stroomgeleiding, waardoor de elektrische veiligheid wordt gegarandeerd tijdens het hanteren van halfgeleiderwafels. Dankzij de hoge temperatuurbestendigheid en thermische stabiliteit van aluminiumoxide-keramiek vervormt de manipulator zeer weinig tijdens het warmtebehandelingsproces van halfgeleiders, kan hij wafers nauwkeurig positioneren en precisieafwijkingen veroorzaakt door thermische vervorming voorkomen. Bovendien heeft dit materiaal een uitstekende chemische stabiliteit en is het zeer goed bestand tegen corrosie door zuren, logen, gesmolten metalen, enz. Het is niet gemakkelijk om met andere stoffen te reageren, waardoor vervuilende deeltjes vrijkomen, en het kan halfgeleideronderdelen effectief beschermen tegen chemische verontreiniging.