Eindeffector van aluminiumoxide

Semicorex Alumina End Effector is uitgegroeid tot een onmisbaar hulpmiddel in het veeleisende domein van de halfgeleiderproductie, waar zelfs microscopisch kleine onvolkomenheden de prestaties van apparaten in gevaar kunnen brengen. De rol van het nauwkeurig hanteren van wafers kan niet genoeg worden benadrukt. De Alumina End Effector biedt een unieke combinatie van precisie, zuiverheid en duurzaamheid die essentieel is voor het manipuleren van delicate siliciumwafels tijdens verschillende fabricageprocessen.**

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De keuze van het materiaal voor Semicorex Alumina End Effector wordt bepaald door de unieke geschiktheid van hoogzuiver aluminiumoxide-keramiek voor de zware omstandigheden die men tegenkomt bij de productie van halfgeleiders:

Uitzonderlijke zuiverheid voor verontreinigingsbeheersing: De Alumina End Effector, met hoogzuiver aluminiumoxide-keramiek als substraat, wordt gekenmerkt door hun extreem lage onzuiverheidsniveaus, waardoor wordt gegarandeerd dat er geen verontreinigingen worden geïntroduceerd die de elektrische eigenschappen of prestaties van gevoelige halfgeleiderapparaten in gevaar kunnen brengen.

Stabiliteit bij hoge temperaturen voor procesveelzijdigheid:De Alumina End Effector vertoont een uitstekende thermische stabiliteit en behoudt zijn structurele integriteit en maatnauwkeurigheid, zelfs bij de hoge temperaturen die voorkomen bij processen zoals thermische oxidatie, diffusie en chemische dampafzetting.

Chemische inertie voor zware omgevingen:De inherente chemische bestendigheid van de Alumina End Effector maakt hem ongevoelig voor een breed scala aan zuren, basen en oplosmiddelen die gewoonlijk worden gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders. Deze inertie voorkomt corrosie of degradatie van de eindeffector, waardoor de prestaties op lange termijn worden gegarandeerd en het risico op verontreiniging door deeltjes wordt geminimaliseerd.

Robuuste mechanische eigenschappen voor langere levensduur:Aluminiumoxide-keramiek staat bekend om hun hardheid, slijtvastheid en het vermogen om herhaalde cycli van hanteren en reinigen te weerstaan zonder degradatie. Deze robuustheid vertaalt zich in een langere levensduur van de Alumina End Effector, waardoor vervangingskosten en uitvaltijd worden verminderd.

De precisie, zuiverheid en duurzaamheid van de Alumina End Effector hebben het tot een essentieel onderdeel gemaakt in een reeks kritische halfgeleiderproductieprocessen:

Fotolithografie:Nauwkeurige uitlijning en plaatsing van wafers zijn van cruciaal belang bij fotolithografie, waar zelfs kleine afwijkingen kunnen leiden tot verkeerde uitlijningsfouten en apparaatstoringen. De Alumina End Effector biedt de nodige nauwkeurigheid en stabiliteit voor deze kritische processtap.

Chemisch-mechanische planarisatie (CMP):Het vermogen om de chemisch agressieve slurries en mechanische krachten te weerstaan die bij CMP betrokken zijn, maakt de Alumina End Effector ideaal voor het hanteren van wafers tijdens dit kritische proces, waarbij het waferoppervlak vlak wordt gemaakt voor daaropvolgende laagjes.

Waferinspectie en metrologie:Het niet-vervuilende en niet-beschadigende karakter van de Alumina End Effector maakt hem ideaal voor het hanteren van wafers tijdens inspectie- en metrologische processen, waardoor nauwkeurige metingen worden gegarandeerd en het risico op het introduceren van defecten wordt geminimaliseerd.