Aluminiumoxide -montageplaten

Semicorex aluminiumoxide-montageplaten zijn hoogzuivere keramische producten die zijn ontworpen als duurzame en stabiele basen voor montagekuipen in de fabricageapparatuur van halfgeleiders. Deze platen bieden kritische mechanische ondersteuning en afstemming voor wafelverwerkingsbewerkingen zoals lithografie, etsen, depositie en inspectie. Het is van essentieel belang om de werkchuck nauwkeurig af te stemmen op andere systeemcomponenten om ervoor te zorgen dat de verwerking van de wafer kan optreden met de vereiste betrouwbaarheid. De platen worden vervaardigd door verwerkingstechnieken die specifiek zijn voor keramiek om de noodzakelijke vlakheid, duurzaamheid op hoge temperatuur en langdurige betrouwbaarheid te bereiken om te voldoen aan de harde vereisten van moderne halfgeleiderfabricage in zowel proces- als cleanroomomgevingen.

Semicorex aluminiumoxide-montageplaten zijn gemaakt van hoge zuiverheidaluminiumoxidemet een zuiverheidsniveau ≧ 99,5% (typisch). Een aluminiumoxide met een hoge zuiverheid heeft goede mechanische en thermische eigenschappen en hardheid. Het aluminiumoxide met hoge zuiverheid heeft uitstekende inherente elektrische isolerende eigenschappen waarmee deze platen ook kunnen worden gebruikt in vacuüm- en hoogspanningstoepassingen waar elektrische interferentie een probleem kan zijn. Het aluminiumoxide zal bestand zijn tegen thermische cycli, waardoor de platen een betere dimensionale nauwkeurigheid kunnen behouden dan de meeste materialen en gunstig is voor het handhaven van de uitlijning of structurele stabiliteit als gevolg van verminderde thermische expansie. Deze factor is belangrijk om de herhaalbaarheid van Chuck en impliciete procestoleranties te waarborgen, terwijl ze worden uitgevoerd over uitgebreide productiecycli.

In de verwerkingssystemen van halfgeleiders is een toenemende basisplaat niet alleen een apparaat voor mechanisch bevestiging. Het is het medium van thermisch contact tussen de klootzak en de rest van de apparatuur en is van cruciaal belang voor thermische dissipatie, structurele integriteit en trillingsisolatie. Verwerkingsacties zoals (maar niet beperkt tot) CVD-, PVD- of ionenimplantatie, waarbij hoge temperaturen en vacuümdruksen gemeengoed zijn, vereisen een montagebasis om thermisch resistent, chemisch inert en resistent, mechanisch geluid en bestand tegen thermische schok te zijn. Chemische traagheid is van vitaal belang omdat een berg compatibel moet zijn met reactieve gassen, evenals het reinigen van chemie, het verlengen van de gebruiksduur van de berg en het voorkomen van verontreiniging.

Elke aluminiumoxide -montageplaat gemaakt door Semicorex wordt bewerkt tot toleranties die worden geëist door semiconductor OEM's en apparatuurintegrators. De platen worden bewerkt tot strakke toleranties voor dikte, hoogtevariatie en vlakheid om maximale stabiliteit en herhaalbaarheid te garanderen. Deze montageplaten kunnen worden gemaakt met montagegaten, slots of tellersinks met klantspecificaties om werkchucks, mechanische fasen of andere apparatuur beter te kunnen huisvesten. Het aluminiumoxide -keramiek wordt verwerkt met behulp van moderne sinter- en precisie -slijpechnieken om een uniforme microstructuur en oppervlaktekwaliteit te optimaliseren om consistent thermisch contact en uitlijning voor gebruik in de loop van de tijd te garanderen.

Semicorex aluminiumoxide -montageplaten worden gebruikt in verschillende toepassingen, waaronder waferverhangers, robotachtige transfersystemen, vacuümbeenassemblages en metrologische fasen. Deze betrouwbaarheid en duurzaamheid in verschillende veeleisende processituaties maakt hen het product van keuze met gereedschapsfabrikanten die op zoek zijn naar robuuste, langdurige, onderhoudsarme keramische componenten. Onze engineeringgroep werkt samen met klanten om unieke oplossingen te bieden die voor elke plaat zijn gespecificeerd om de efficiëntie van de productie in een halfgeleider te maximaliseren.

Montageplaten van aluminiumoxide zijn meer dan alleen een mechanische ondersteuning; Het is een belangrijk onderdeel van Precision Engineering in de halfgeleiderindustrie. Met uitstekende mechanische stabiliteit, zuiverheid en configureerbaarheid zorgen ze voor een nauwkeurige afstemming, lange levensduur en betrouwbare werking in een uitgebreid scala aan proceshulpmiddelen. Voor hoogwaardige montagebasisplaten, het voldoen aan de hoge verwachtingen van de huidige halfgeleiderfabrikanten, Trust Semicorex.