Aluminiumoxide robotarm

Semicorex aluminiumoxide robotarm is een hoogwaardige keramisch onderdeel dat is ontworpen voor wafelafhandeling en overdrachtstaken in de productie van halfgeleiders. Gemaakt van hoog zuiver aluminiumoxide keramiek (al₂o₃), deze robotarm biedt flexibiliteit, precisie, betrouwbaarheid en duurzaamheid in cleanrooms.

Wat opvalt ten gunste van de aluminiumoxide -robotarm zijn de eigenschappen vanaluminiumair keramiekMechanische sterkte en hardheid. Alsaluminiumoxidewordt zuiverder gemaakt, Alumina handhaaft een betere structurele integriteit en maakt het beter bestand tegen mechanische slijtage en vervorming. Als materiaal is aluminiumoxide een geweldige keuze voor robotachtige onderdelen die worden gebruikt in delicate en repetitieve wafer-hanteringstaken, d.w.z. wanneer een robotarm dezelfde functie moet uitvoeren en contact moet maken met wafels, kan die kleine vervorming die op de wafer wordt toegepast door de robotarm een faciliteitsopbrengstverliezen kan kosten. De hoge hardheid, d.w.z. rigide oppervlakken, kan helpen bij de schurende weerstand en het functionele leven, d.w.z. de levensduur en duur van service/ vervanging op een robotcomponent verlengen.

Naast de mechanische duurzaamheid is de aluminiumoxide robotarm ook een uitstekende elektrische isolator. De weerstand is maximaal 10¹⁵ Ω · cm en de isolatiesterkte is maximaal 15 kV/mm bij kamertemperatuur, waardoor een veel veiliger omgeving moet werken, vooral wanneer interfererende elektrische signalen moeten worden verminderd in de verwerkingsapparatuur. Dit wordt belangrijk bij het beschermen van gevoelige halfgeleidercomponenten die overbrengen tussen processen met minimaal risico op elektrostatische ontlading (ESD) schade.

Het aluminiumoxide keramiek is uitstekend in het handhaven van de stabiliteit bij zeer hoge temperaturen. Het smeltpunt is ongeveer 2050 ° C en is bestand tegen hoge temperaturen in halfgeleider thermische verwerking zonder kromtrekken of dimensionale nauwkeurigheid. Door de hoge hittebestendigheid kan de arm worden gebruikt in processen zoals snelle thermische gloeien (RTA) of chemische dampafzetting (CVD), waar precisie -uitlijning en thermische stabiliteit van cruciaal belang zijn.

Een van de andere belangrijke voordelen van de aluminiumoxide -robotarm is de inertie. Het oppervlak is inert voor de meeste reinigingsmiddelen en procesgassen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders. Daarom blijft het verontreinigingsvrij en draagt het niet bij aan wafeloppervlakverontreiniging. Deze chemische inertie is de sleutel tot het bereiken van ultra-schone productieomstandigheden en het bieden van consistente apparaatprestaties.

Aluminiumair keramiekis ook een betaalbare optie voor halfgeleider Tooling. Het is direct beschikbaar als grondstof en de bewerkingsprocessen van aluminiumoxide -keramiek zijn goed begrepen en gemakkelijk schaalbaar. Dit maakt reproduceerbare en consistente toleranties mogelijk voor onderdelen van hoge kwaliteit die tegen een concurrerende prijs worden geproduceerd. De mix van prestaties en betaalbaarheid maakt de aluminiumoxide -robotarm ideaal voor OEM's en halfgeleider Fabs waar u betrouwbare automatiseringscomponenten nodig heeft die de bank niet breken.

Samenvattend biedt de aluminiumoxide -robotarm hoge mechanische prestaties, hoge diëlektrische prestaties, hoge thermische weerstand, hoge chemische prestaties, allemaal met bewezen productie tegen een economische prijs. Gezamenlijk maken deze prestatiekenmerken het betrouwbaar en efficiënt voor precisie -waferafhandelingstoepassingen in de productie van halfgeleiders, waardoor een verbeterde opbrengst mogelijk is, waardoor het verontreinigingsrisico kan worden verlaagd en de algehele effectiviteit van apparatuur wordt verbeterd.