Aluminiumoxide wafelpolijstplaten

Semicorex aluminiumoxide wafel polijst platenzijn nauwkeurig bewerkte onderdelen gemaakt van zeer zuiver aluminiumoxide door isostatisch persen, sinteren op hoge temperatuur en precisiebewerking. Ze zijn ideaal voor precisiepolijsttoepassingen met strenge eisen voor ultrahoge oppervlakteprecisie en efficiëntie, met name voor het polijsten van halfgeleiderwafels, omdat aluminiumoxide-keramiek uitzonderlijke fysische en chemische eigenschappen biedt.

---

Lange levensduur voor uitstekende slijtvastheid

Een hoge slijtvastheid is essentieel voor wafelpolijstplaten die worden gebruikt bij zeer nauwkeurige bewerking. De Mohs-hardheid van aluminiumoxide-keramiek bedraagt ​​ongeveer 9, de tweede na die van diamant en siliciumcarbide, waardoor waferpolijstplaten bestand zijn tegen de hoge snelheid en zware wrijvingsomstandigheden tijdens het polijsten van halfgeleiderwafels met weinig slijtageverlies. Dankzij deze uitstekende slijtvastheid vertonen aluminiumoxide wafelpolijstplaten een duurzame levensduur, waardoor de frequentie van het stilleggen van apparatuur voor vervanging aanzienlijk wordt verlaagd en de onderhouds- en vervangingskosten worden verlaagd.

Uitzonderlijke thermische stabiliteit en hoge temperatuurbestendigheid

Aluminiumoxidewaferpolijstplaten kunnen hun fysieke eigenschappen en wrijvingsprestaties behouden tijdens omgevingen met hoge temperaturen van 1000 ℃ vanwege hun uitzonderlijke thermische stabiliteit en hoge temperatuurbestendigheid. Ze zijn geschikt voor werkomstandigheden bij hoge temperaturen veroorzaakt door frequente wrijving, waardoor thermische vervorming effectief wordt vermeden en wordt bijgedragen aan het behoud van een constant polijstoppervlak.

Betrouwbare chemische corrosiebestendigheid

Wafelpolijstplaten van aluminiumoxide zijn betrouwbaar bestand tegen chemische corrosie. Ze zijn bestand tegen de meeste zuren en logen, evenals tegen de gebruikelijke chemische polijstoplossingen die in het CMP-proces worden gebruikt. Hun oppervlaktevlakheid wordt niet aangetast door chemische corrosie, waardoor de oppervlaktekwaliteit van halfgeleiderwafels wordt aangetast.

---

Toepassingen voor Semicorex Alumina waferpolijstplaten

1. Halfgeleiderwafelpolijsten

Aluminiumoxide wafelpolijstplaten worden veel gebruikt bij het slijpen, ruw polijsten en polijsten van silicium, SiC, saffier en verschillende wafelsubstraten. Dankzij hun ultralage ruwheid en vlakheid van het oppervlak op nanoschaal kunnen aluminiumoxide-wafelpolijstplaten ideaal voldoen aan de veeleisende oppervlaktekwaliteitseisen van geavanceerde halfgeleiderprocessen zoals etsen en lithografie.

2. Wafelverdunnen en randpolijsten

Tijdens het wafelverdunningsproces kunnen aluminiumoxide-wafelpolijstplaten worden gebruikt om de wafeldikte nauwkeurig te regelen en materialen aan de achterkant gelijkmatig te verwijderen. Bij het polijsten van randen kunnen polijstplaten van aluminiumoxide ook helpen de optimale kwaliteit van de wafelrand te bereiken door bramen en defecten aan de wafelranden te elimineren.