CVD- en CVI-vacuümoven

Semicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van producten met siliciumcarbidecoating in China. Wij bieden ovenoplossingen op maat. Onze CVD- en CVI-vacuümovens hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken veel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex CVD en CVI Vacuümoven is een hoogwaardig hulpmiddel ontworpen voor chemische dampdepositie (CVD) processen. De reactietemperaturen oplopen tot 2200°C. Het kan een breed scala aan materialen afzetten, waaronder siliciumcarbide, boornitride, grafeen en meer. De CVD-oven heeft een robuust ontwerp en is gemaakt van hoogwaardige materialen, waardoor betrouwbaarheid en duurzaamheid voor langdurig gebruik zijn gegarandeerd. Het heeft zowel horizontale als verticale structuren.

Sollicitatie:C/C composiet remschijf, smeltkroes, schimmel en etc.

Kenmerken van Semicorex CVD en CVI Vacuümoven

1. Robuust ontwerp gemaakt van hoogwaardige materialen voor langdurig gebruik;

2. Nauwkeurig gecontroleerde gastoevoer door het gebruik van massastroomregelaars en hoogwaardige kleppen;

3. Uitgerust met veiligheidsvoorzieningen zoals bescherming tegen oververhitting en gaslekdetectie voor een veilige en betrouwbare werking;

4. Gebruik van meerdere temperatuurcontrolezones, grote temperatuuruniformiteit;

5. Speciaal ontworpen afzettingskamer met goede afdichtingswerking en geweldige anti-besmettingsprestaties;

6. Gebruik van meerdere afzettingskanalen met uniforme gasstroom, zonder afzettingsdode hoeken en een perfect afzettingsoppervlak;

7. Het heeft een behandeling voor teer, vast stof en organische gassen tijdens het afzettingsproces

Optionele kenmerken:

• Ovendeur: schroef/hydraulisch/handmatig verhogingstype; zwenkopening/parallelle opening (groot formaat

ovendeur); handmatig vast/automatische borgring strak

• Ovenvat: volledig koolstofstaal/binnenlaag roestvrij staal/volledig roestvrij staal

•Hete zone van de oven: zacht koolstofvilt/zacht grafietvilt/stijve composietvilt/CFC

•Verwarmingselement en moffel: isostatisch persgrafiet/grafiet met hoge zuiverheid, sterkte en dichtheid/grafiet met fijne afmetingen

• Procesgassysteem: volume-/massastroommeter

• Thermokoppel: K-type/N-type/C-type/S-type

Specificaties van CVD-oven
Model	Grootte van de werkzone (B × H × L) mm	Max. Temperatuur (°C)	Temperatuur Uniformiteit (°C)	Ultiem vacuüm (Pa)	Snelheid drukverhoging (Pa/u)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Bovenstaande parameters kunnen worden aangepast aan de procesvereisten, ze zijn niet als acceptatiestandaard, de detailspecificatie. worden vermeld in het technisch voorstel en de overeenkomsten.