LPE-onderdeel

Semicorex LPE-onderdelen zijn hoogwaardige SiC-gecoate componenten die speciaal zijn ontworpen voor gebruik in het SiC-epitaxieproces. Deze componenten zijn ontworpen om de veeleisende omstandigheden van SiC-kristalgroei te weerstaan ​​en bieden superieure thermische stabiliteit, chemische weerstand en mechanische sterkte. Wanneer u voor de LPE-onderdelen van Semicorex kiest, bent u verzekerd van uitzonderlijke duurzaamheid, precisie en een oplossing op maat voor uw SiC-epitaxieprocesbehoeften.

Semicorex LPE-onderdelen zijn vervaardigd met geavanceerde materialen en nauwkeurige productietechnieken, waardoor consistentie en betrouwbaarheid in elke eenheid worden gegarandeerd. De fysische en chemische eigenschappen van de coating stellen strenge eisen aan hoge temperatuurbestendigheid en corrosiebestendigheid, die rechtstreeks van invloed zijn op de opbrengst en levensduur van het product. SiC-materiaal heeft een hoge sterkte, hoge hardheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en goede thermische geleidbaarheid. Het is een belangrijk structureel materiaal voor hoge temperaturen en halfgeleidermateriaal voor hoge temperaturen. Het wordt toegepast op grafietbases. De voordelen zijn:

1) SiC is corrosiebestendig en kan de grafietbasis volledig omhullen, en heeft een goede dichtheid om schade door corrosieve gassen te voorkomen. 2) SiC heeft een hoge thermische geleidbaarheid en een hoge hechtsterkte met de grafietbasis, waardoor de coating niet gemakkelijk loslaat na meerdere cycli van hoge en lage temperaturen. 3) SiC heeft een goede chemische stabiliteit om het falen van de coating in een hoge temperatuur en corrosieve atmosfeer te voorkomen. Bovendien vereisen epitaxiale ovens van verschillende materialen grafietplaten met verschillende prestatie-indicatoren. Het afstemmen van de thermische uitzettingscoëfficiënt van grafietmaterialen vereist aanpassing aan de groeitemperatuur van de epitaxiale oven. De temperatuur van de epitaxie van siliciumcarbide is bijvoorbeeld hoog en er is een bak met een hoge thermische uitzettingscoëfficiënt vereist. De thermische uitzettingscoëfficiënt van SiC ligt zeer dicht bij die van grafiet, waardoor het geschikt is als voorkeursmateriaal voor de oppervlaktecoating van de grafietbasis.

Toepassingen in het SiC-epitaxieproces

Het SiC-epitaxieproces is een cruciale stap in de productie van hoogwaardige SiC-wafels die worden gebruikt voor halfgeleiderapparaten, waaronder vermogenselektronica en opto-elektronica. LPE-onderdelen, vooral die met SiC-coatings, spelen een essentiële rol bij de nauwkeurige controle van temperatuur en chemische reacties in de reactor. Deze componenten zijn strategisch in de reactor geplaatst om optimale wafelgroei te vergemakkelijken terwijl de zuiverheid en uniformiteit van de SiC-kristallen behouden blijft.

Bij Semicorex begrijpen we dat elk SiC-epitaxieproces unieke vereisten heeft. Daarom kunnen onze LPE-onderdelen volledig worden aangepast aan de specifieke behoeften van uw bedrijf. Of het nu gaat om de grootte, vorm of laagdikte, ons engineeringteam werkt nauw samen met klanten om componenten te leveren die hun productieprocessen optimaliseren.

De hoogwaardige SiC-coating die op onze onderdelen is aangebracht, zorgt bovendien voor superieure duurzaamheid. In tegenstelling tot conventionele materialen biedt SiC een langere levensduur onder zware bedrijfsomstandigheden, waardoor de frequentie van onderhoud en stilstand wordt verminderd. Deze lange levensduur vertaalt zich in lagere operationele kosten en verhoogde efficiëntie voor halfgeleiderfabrikanten.

Semicorex LPE-onderdelen zijn met precisie ontworpen en ontwikkeld om te voldoen aan de strenge eisen van het SiC-epitaxieproces. Onze componenten worden geproduceerd met behulp van de nieuwste technologie, waardoor ze ongeëvenaarde prestaties en een lange levensduur garanderen. Door voor Semicorex te kiezen, selecteert u een partner die de complexiteit van de halfgeleiderproductie begrijpt en zich inzet voor het leveren van betrouwbare, hoogwaardige producten die uw productiemogelijkheden verbeteren.

Semicorex LPE-onderdelen, met hunSiC-coatingzijn de ideale keuze voor het verbeteren van de prestaties en levensduur van SiC-epitaxiereactoren. Deze componenten bieden superieure thermische stabiliteit, chemische weerstand en mechanische sterkte, waardoor uw SiC-kristalgroeiproces soepel en efficiënt verloopt. Met de beschikbare aanpassingsopties biedt Semicorex een oplossing op maat die voldoet aan uw specifieke procesvereisten, waardoor wij de vertrouwde partner zijn voor halfgeleiderfabrikanten wereldwijd.