1x2" Grafiet Wafer Susceptors

Bij de vervaardiging van halfgeleiderwafels moet de epitaxiale laag op het wafelsubstraat worden gegroeid voor de daaropvolgende vervaardiging van halfgeleiderinrichtingen. Omdat het epitaxiale groeiproces zeer gevoelig is voor temperatuurschommelingen en vervuiling, zijn de selecties betrouwbaarwafel susceptorenzijn van cruciaal belang. Als onmisbare ondersteunende onderdelen in het epitaxiale wafelproces zijn de bewerkingsprecisie, het thermische beheersvermogen en de weerstand tegen verontreiniging cruciale factoren bij het bereiken van hoogwaardige epitaxiale groei van wafels.

De functies van Semicorex 1x2" grafietwafer-susceptoren

Gemaakt van ultrafijnkorrelig, zeer zuiver grafiet als matrix met de dichte siliciumcarbidecoating via speciale processen, leveren Semicorex 1x2" grafietwafersusceptors de volgende functies:

1. Veilig en verouderd bezit

Semicorex 1x2"grafietwafer-susceptoren zijn nauwkeurig bewerkt en behandeld en leveren een uitzonderlijke vlakheid van het oppervlak en maatnauwkeurigheid. Dit zorgt ervoor dat ze stevig in een geschikte positie worden vastgezet en biedt een stabiel, vlak ondersteuningsplatform voor epitaxiale groei van wafels.

2.Precisie uniforme warmteverdeling

Met de uitstekende thermische geleidbaarheid van grafiet- en SiC-materialen zorgen Semicorex 1x2" grafietwafersusceptors voor een snelle en uniforme warmteverdeling over de halfgeleidersubstantie. Door temperatuurgradiënten te minimaliseren, kunnen Semicorex 1x2" grafietwafersusceptoren problemen zoals ongelijke epitaxiale kwaliteit en spanningsconcentratie effectief voorkomen.

De voordelen van Semicorex siliciumcarbide coating

1. Superieure corrosieweerstand

Bedekt met de dichte siliciumcarbidecoating zijn Semicorex 1x2" grafietwafersusceptors effectief bestand tegen de meeste chemicaliën, waardoor ze geschikt zijn voor toepassingen in zeer corrosieve bedrijfsomstandigheden waarbij het materiaal vaak wordt blootgesteld aan corrosieve gassen en chemische dampen.

2. Lage deeltjesafscheiding

Semicorexcoating van siliciumcarbideheeft een hoge hechtsterkte met de grafietmatrix, waardoor het risico op substraatverontreiniging als gevolg van loslaten van de coating als gevolg van corrosie en deeltjesuitval veroorzaakt door omgevingen met hoge corrosie aanzienlijk kan worden vermeden.

3. Betrouwbare levensduur

Hoewel grafietmatrices uitstekende thermische stabiliteit en mechanische sterkte vertonen, zijn ze gevoelig voor corrosie en verpulvering onder bedrijfsomstandigheden van een epitaxiaal proces, waardoor de levensduur van ongecoate grafietmatrices aanzienlijk wordt verkort. Door de grafietmatrices volledig in te kapselen met dichte SiC-coatings, bereiken onze 1×2" grafietwafer-susceptoren een superieure en betrouwbare duurzaamheid.

Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating