Terwijl technologieknooppunten blijven krimpen, brengt de vorming van ultra-ondiepe knooppunten aanzienlijke uitdagingen met zich mee. Thermische gloeiprocessen, waaronder snelle thermische gloeiing (RTA) en flitslampgloeien (FLA), zijn essentiële technieken die hoge onzuiverheidsactiveringssnelhede......
Lees verderBij de productie van halfgeleiders zijn de precisie en stabiliteit van het etsproces van het grootste belang. Een cruciale factor bij het bereiken van etsen van hoge kwaliteit is ervoor te zorgen dat de wafels tijdens het proces perfect vlak op de schaal liggen. Elke afwijking kan leiden tot een ong......
Lees verderHet dunnefilmafzettingsproces van halfgeleiders is een essentieel onderdeel van de moderne micro-elektronicatechnologie. Het omvat het construeren van complexe geïntegreerde schakelingen door een of meer dunne lagen materiaal op een halfgeleidersubstraat aan te brengen.
Lees verderSiliciumcarbide (SiC) is een halfgeleidermateriaal met een grote bandafstand dat de afgelopen jaren veel aandacht heeft gekregen vanwege zijn uitzonderlijke prestaties in toepassingen met hoge spanning en hoge temperaturen. Deze studie onderzoekt systematisch de verschillende kenmerken van SiC-krist......
Lees verder