Droogetsen is een belangrijke technologie in de productieprocessen van micro-elektromechanische systemen. De prestaties van het droge etsproces oefenen een directe invloed uit op de structurele precisie en operationele prestaties van halfgeleiderapparaten. Om het etsproces nauwkeurig te kunnen contr......
Lees verderDe aerostatische glijbaan van siliciumcarbide is een geavanceerd geleidingssysteem dat de materiaaleigenschappen van siliciumcarbide en aerostatische technologie combineert. De aerostatische glijbaan van siliciumcarbide is de optimale oplossing voor zeer nauwkeurige, betrouwbare en langdurige bewegi......
Lees verderDe reguliere methode voor het bereiden van enkele kristallen van siliciumcarbide is de fysische damptransportmethode (PVT). Deze methode bestaat voornamelijk uit een kwartsbuisholte, een verwarmingselement (inductiespoel of grafietverwarmer), grafiet-koolstofvilt isolatiemateriaal, een grafietkroes,......
Lees verderSOI, een afkorting van Silicon-On-Insulator, is een halfgeleiderproductieproces op basis van speciale substraatmaterialen. Sinds de industrialisatie in de jaren tachtig is deze technologie een belangrijke tak van geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen geworden. Het SOI-proces onderscheidt zich......
Lees verderDe elektrostatische Chuck vervult meerdere functies, zoals uniforme elektrostatische ontlading, warmtegeleiding en wafer-adsorptie en fixatie op het gebied van de productie van halfgeleiders. Een van de kernfuncties van de ESC is het stabiel adsorberen van wafers onder extreme bedrijfsomstandigheden......
Lees verder