Planetaire susceptor

Semicorex Planetary Susceptor is een onmisbare component voor halfgeleider -epitaxie -reactoren, specifiek ontworpen voor Aixtron G5+ -apparatuur. Geconstrueerd uit hoogzuiver grafiet enCoated met siliciumcarbide (sic), deze susceptor garandeert superieure thermische stabiliteit, uitzonderlijke chemische resistentie en ongeëvenaarde prestaties in omgevingen op hoge temperatuur.

De Aixtron G5+ Epitaxy -reactor staat als een benchmark in de industrie voor GAN, SIC en andere samengestelde halfgeleidergroeiprocessen. De planetaire susceptor is cruciaal bij het optimaliseren van de gasstroom, zorgt voor een precieze waferrotatie, het handhaven van exacte temperatuurregeling en het bereiken van een uniforme afzetting van epitaxiale lagen. Het innovatieve ontwerp verbetert de herhaalbaarheid van processen aanzienlijk, waardoor het de ideale keuze is voor productieomgevingen met een groot volume.

Belangrijke functies  

- Geavanceerde materiaalsamenstelling: gemaakt van grafiet met een hoog zuiverheid met een SIC-coating, die verbeterde duurzaamheid en weerstand biedt tegen harde procesomstandigheden.  

- Geoptimaliseerde thermische prestaties: zorgt voor uniforme warmteverdeling, cruciaal voor de groei van epitaxiale laag laag-nauwkeurige epitaxiale laag.  

- Chemische weerstand: de SIC -coating voorkomt grafietoxidatie, waardoor de levensduur van de susceptor wordt verlengd en het proceszuiverheid wordt gehandhaafd.  

- Precision Engineering: ontworpen om te voldoen aan de strenge vereisten van Aixtron G5+ -systemen, waardoor naadloze integratie en optimale reactorefficiëntie wordt gewaarborgd.  

- Hoge oppervlakte -uniformiteit: minimaliseert deeltjesverontreiniging, ondersteunende superieure wafelkwaliteit en hogere opbrengst in de productie van halfgeleiders.  

Voordelen van onze planetaire susceptor  

- uitgebreide serviceleven: deSic coatingVermindert de slijtage aanzienlijk, wat resulteert in een lagere vervangingsfrequentie en lagere operationele kosten.  

- Verbeterde processtabiliteit: zorgt voor consistente verwarming en minimale thermische gradiënten, wat leidt tot hoogwaardige wafelproductie.  

- Compatibiliteit en aanpassing: beschikbaar in standaard- en aangepaste ontwerpen om te voldoen aan specifieke Aixtron G5+ procesvereisten.  

GrafietOnderdelen spelen een onmisbare en zeer belangrijke rol in het halfgeleiderproces. De kwaliteit van grafietmaterialen heeft een grote impact op de kwaliteit van eindproducten. Onze grafietbatch -consistentie en materiaalhomogeniteit kunnen worden gecontroleerd en gegarandeerd via het productieproces.

1. Kleine batchproductie, de carbonisatie -oven gebruikt slechts een kleine oven met slechts 50 kubieke meter

2. Elk stuk materiaal wordt gecontroleerd en gevolgd

3. Multi-punts temperatuurbewaking in de ovenruimte om ervoor te zorgen dat het temperatuurverschil op een zeer klein bereik wordt bewaard

4. Multi-punts temperatuurbewaking op het materiaal om ervoor te zorgen dat het temperatuurverschil op een zeer klein bereik wordt bewaard

Semicorex Planetaire Susceptor is de premium oplossing voor Aixtron G5+ -reactoren, die uitstekende thermische stabiliteit, chemische weerstand en precisieprestaties bieden. Ontwikkeld voor de meest veeleisende productieprocessen voor halfgeleiders, drijft het hogere wafersopbrengsten, minimaliseert het risico op het verontreiniging en verlengt de levensduur van de apparatuur. Upgrade uw Epitaxy-systeem met een bovenste susceptor voor ongeëvenaarde resultaten.