Poreuze grafietkroes

Een poreuze grafietkroes speelt een cruciale rol in het proces van de monokristallijne groei van siliciumcarbide (SiC), een cruciale stap in de productie van halfgeleiders. Deze gespecialiseerde smeltkroes is ontworpen om extreme temperaturen en agressieve chemische omgevingen te weerstaan, waardoor het een ideale container is voor de hoge temperatuurreacties die betrokken zijn bij de groei van SiC-kristallen.

De smeltkroes is doorgaans gemaakt van zeer zuiver grafietmateriaal, bekend om zijn uitstekende thermische geleidbaarheid, chemische inertheid en mechanische sterkte. De term "poreus" verwijst naar het opzettelijk creëren van een permeabele structuur in het grafiet, waardoor de gecontroleerde stroom van gassen en vloeistoffen mogelijk is tijdens het kristalgroeiproces.

Het SiC-monokristalgroeiproces omvat de sublimatie van silicium- en koolstofbronmaterialen in een hogetemperatuuroven. De poreuze grafietkroes fungeert als houder voor deze bronmaterialen en biedt een stabiele en gecontroleerde omgeving waarin de kristalgroei kan plaatsvinden. De poreuze structuur maakt een efficiënt transport van precursorgassen mogelijk en vergemakkelijkt de verwijdering van bijproducten die tijdens het groeiproces worden gegenereerd.

Het vermogen van de smeltkroes om de stabiliteit te behouden en extreme omstandigheden te weerstaan, is essentieel voor het verkrijgen van hoogwaardige SiC-eenkristallen, die een integraal onderdeel zijn van de productie van halfgeleiderapparaten. De porositeit van de smeltkroes helpt bij het optimaliseren van de gasstroom en warmteverdeling, wat bijdraagt ​​aan de uniforme groei van grote en hoogwaardige SiC-kristallen.