Semicorex Quartz Tank for Wet Processing, ook bekend als kwartsbad, is vooral van cruciaal belang bij natte processen die worden gebruikt voor de productie van wafers.**
De kwartstank voor natte verwerking, gemaakt van kwarts van halfgeleiderkwaliteit, biedt uitzonderlijke duurzaamheid en niet-reactiviteit voor een verscheidenheid aan chemicaliën, waaronder zwavelzuur (H2SO4), waterstofperoxide (H2O2) en standaard schone oplossingen (SC1).
Een van de belangrijkste toepassingen van de kwartstank voor natte verwerking bij de productie van wafers is het reinigen van wafers. Tijdens verschillende fabricagestappen kunnen wafers worden gemaskeerd om specifieke delen te etsen of om diffusie tot bepaalde gebieden te beperken. Nadat een bepaalde processtap is voltooid, moet het maskeermateriaal grondig worden gereinigd om de wafer gereed te maken voor de volgende stap. De kwartstank voor natte verwerking speelt een cruciale rol in dit reinigingsproces en zorgt ervoor dat de wafels effectief worden gereinigd zonder resten of deeltjes achter te laten die de daaropvolgende verwerkingsstappen zouden kunnen vervuilen.
Het vermogen van Quartz the Tank for Wet Processing om agressieve chemicaliën te weerstaan is van cruciaal belang bij natte verwerkingstoepassingen. Deze tanks zijn ontworpen om bestand te zijn tegen de agressieve chemicaliën die worden gebruikt bij ets- en reinigingsprocessen, zonder ermee te reageren. Deze niet-reactiviteit zorgt ervoor dat de chemicaliën effectief blijven en dat er geen ongewenste chemische reacties optreden die de integriteit van de wafers in gevaar zouden kunnen brengen.
Bij wafelreinigingsprocessen is het essentieel om de verontreiniging van de wafels met deeltjes tot een minimum te beperken. Semicorex Quartz Tank voor natte verwerking is ontworpen om het risico op besmetting te verminderen en ervoor te zorgen dat de wafels grondig en efficiënt worden gereinigd. Onze kwartstanks kunnen worden geleverd in verwarmde en recirculerende modellen, die een nauwkeurige temperatuurregeling en continue circulatie van reinigingsoplossingen mogelijk maken.
Een ander cruciaal kenmerk van Semicorex Quartz Tank voor natte verwerking is de hoge thermische weerstand. Deze tanks kunnen werken bij temperaturen tot 190°C, geschikt voor processen waarbij de reinigings- of etsoplossingen worden verwarmd. Hoge thermische weerstand zorgt ervoor dat de tanks hun structurele integriteit en prestaties behouden, zelfs bij hoge temperaturen. Dit is vooral belangrijk bij processen waarbij temperatuurbeheersing cruciaal is voor het bereiken van de gewenste resultaten.
De kwartstank voor natte verwerking vertoont ook een lage thermische uitzetting en een hoge weerstand tegen thermische schokken. De lage thermische uitzetting minimaliseert het risico op scheuren of vervorming als gevolg van temperatuurschommelingen, waardoor de levensduur en betrouwbaarheid van de tanks wordt gegarandeerd. Dankzij de hoge weerstand tegen thermische schokken zijn de kwartstanks bestand tegen snelle temperatuurveranderingen zonder hun structurele integriteit in gevaar te brengen. Deze thermische eigenschappen zijn essentieel voor het handhaven van de precisie en betrouwbaarheid van natte verwerkingsstappen bij de vervaardiging van wafels.
Hoge transparantie is een ander voordeel van Semicorex Quartz Tank voor natte verwerking. De transparantie van het kwartsmateriaal maakt visuele inspectie van de wafers en de reinigings- of etsoplossingen tijdens de verwerking mogelijk. Deze zichtbaarheid verbetert de procescontrole en -monitoring, waardoor eventuele problemen snel kunnen worden opgespoord en aangepakt. De mogelijkheid om het proces visueel te monitoren is bijzonder belangrijk voor het garanderen van de kwaliteit en consistentie van de stappen voor het reinigen en etsen van de wafer.
Bij Semicorex maken we gebruik van geavanceerde bewerkingstechnologie om hoogwaardige kwartstanks voor natte verwerking te produceren. Onze productiemogelijkheden omvatten diamantzaagbladen en lasersnijden op maat, waardoor nauwkeurige afmetingen en hoogwaardige afwerkingen worden gegarandeerd. We maken ook gebruik van hooggepolijste oppervlakken om het risico op deeltjesvorming en besmetting te minimaliseren. Onze ervaren kwartslassers en machinisten creëren kwartstanks met een hoge zuiverheidsgraad, met zeer sterke gelaste inlaten en sondehouders, aangepast om aan de specifieke behoeften van onze klanten te voldoen.
Om de prestaties en duurzaamheid van de kwartstank voor natte verwerking te verbeteren, gloeien we ze om de thermische spanning te verminderen. Gloeien is een warmtebehandelingsproces dat de interne spanningen in het kwartsmateriaal vermindert, waardoor de weerstand tegen thermische schokken wordt verbeterd en de algehele duurzaamheid wordt vergroot.
Aangepaste formaten en configuraties zijn essentieel om te voldoen aan de uiteenlopende eisen van halfgeleiderproductieprocessen. Bij Semicorex bieden we een breed scala aan aangepaste maten en configuraties voor onze kwartstanks, waardoor we oplossingen kunnen bieden die zijn afgestemd op de specifieke behoeften van onze klanten. Of het nu gaat om het toevoegen van zeer sterke gelaste kwartsinlaten, sondehouders of andere aangepaste functies, wij werken nauw samen met onze klanten om kwartstanks te leveren die aan hun precieze specificaties voldoen.