Satellietplaat

Semicorex -satellietplaat is een essentiële wafeldrager tijdens het epitaxiale groeiproces, wat een uniforme afzetting en optimale procesefficiëntie garandeert. Geconstrueerd uit grafiet met veel zuiverheid en gecoat met een robuuste siliciumcarbide (SIC) -laag, levert deze plaat een uitzonderlijke thermische stabiliteit, chemische weerstand en mechanische sterkte, waardoor de positie als een onmisbare component in hoogwaardige halfgeleiderproductie wordt versterkt.

Met een grafietbasis met hoge zuiverheid blinkt de satellietplaat uit in thermische geleidbaarheid en structurele integriteit. DeSic coatingBetekent aanzienlijk de duurzaamheid ervan, waardoor de weerstand op hoge temperatuur, chemische inertie oplevert en de generatie van deeltjes drastisch wordt verminderd. Deze krachtige combinatie zorgt ervoor dat de plaat harde verwerkingsomstandigheden doorloopt en tegelijkertijd op een hoog niveau presteert. De grafietbasis vergemakkelijkt een efficiënte warmteoverdracht, waardoor uniforme temperatuurverdeling over de wafel wordt gewaarborgd, terwijl de SIC -coating beschermt tegen corrosieve procesgassen, het voorkomen van verontreiniging en het verlengen van de levensduur van de services. Bovendien minimaliseert het SIC-oppervlak de afgifte van deeltjes, wat van cruciaal belang is voor het bereiken van hoogrentende halfgeleiderfabricage.

Specifiek ontworpen voor naadloze integratie met Aixtron G5+ -systemen, garandeert de satellietplaat een precieze wafer positionering en rotatiebalans, essentieel voor het handhaven van stabiele thermische omstandigheden en het verminderen van defectsnelheden. De geavanceerde materiaalsamenstelling van de plaat verlengt niet alleen de levensduur van de services, maar verlaagt ook de operationele kosten aanzienlijk en verbetert de productieproductiviteit aanzienlijk.

De satellietplaat is voornamelijk gebruikt in het metaal organische chemische dampafzetting (MOCVD) -proces en is cruciaal voor het kweken van epitaxiale lagen op halfgeleiderwafels. Het speelt een sleutelrol bij de productie van geavanceerde halfgeleiderapparaten, waaronder LED's, SIC en GAN-gebaseerde krachtelektronica, fotonische en opto-elektronische componenten en hoogfrequente RF-apparaten. Door te zorgen voor stabiele thermische omstandigheden en het minimaliseren van verontreiniging, garandeert de satellietplaat een consistente groei van de epitaxiale laag, wat leidt tot verbeterde wafelafhandeling en hogere opbrengstsnelheden. Het geoptimaliseerde ontwerp beveiligt wafer -ondersteuning efficiënt, vermindert defecten en zorgt voor precisie in de fasen van de halfgeleiderverwerkingsfasen.

Semicorex -satellietplaat dient als een essentieel onderdeel voor Aixtron G5+ Epitaxy -reactoren, die een ongeëvenaarde duurzaamheid, chemische resistentie en thermische prestaties opleveren. De geavanceerde materiaalsamenstelling en engineering maken het cruciaal voor het productieproces van het halfgeleider, waardoor de productie van hoogwaardige en hoogwaardige wafels wordt gewaarborgd. Investeer in de satellietplaat om uw halfgeleiderfabricage te verhogen en excellentie te bereiken in epitaxiale groeiprocessen.