Semicorex aluminiumoxide keramische robotarmen, ook wel aluminiumoxide keramische eindeffectoren genoemd, zijn de cruciale keramische onderdelen die voornamelijk worden toegepast bij de front-end fabricage van halfgeleiders voor het hanteren, transporteren en positioneren van wafers. Keramische robotarmen van semicorex aluminiumoxide, die zowel betrouwbare prestaties als concurrerende kosten bieden, kunnen een zeer nauwkeurige, vervuilingsvrije en schadevrije wafertransmissie garanderen.
Met een hoge zuiverheid, uitstekend parallellisme, nauwkeurige afmetingen, stabiele betrouwbaarheid en efficiënte werking zijn keramische robotarmen de onmisbare componenten die op grote schaal worden toegepast in de geavanceerde halfgeleiderproductie. Met de voortdurende vooruitgang van de industriële automatisering blijft de marktvraag naar keramische robotarmen gestaag groeien.
Hoogwaardige industrieën, waaronder de productie van wafers, de fotovoltaïsche sector en de sectoren precisie-elektronica, stellen strenge operationele eisen aan componenten van apparatuur. Semicorexaluminiumoxide keramiekrobotarmen kunnen volledig voldoen aan deze strenge eisen van de productie van halfgeleiders onder vacuüm en hoge temperaturen dankzij hun superieure materiaalprestaties, zoals hieronder weergegeven.
1. Hoge mechanische sterkte en hardheid
2. Hoog smeltpunt en betrouwbare thermische stabiliteit
3. Uitzonderlijke chemische corrosie
4. Uitstekende elektrische isolatieprestaties
| Eigenschappen |
Dikte |
Buigsterkte (20℃) |
Druksterkte (20℃) |
Hardheid (Knoop 1000 gram) |
Treksterkte (25℃) |
Coëfficiënt van thermische uitzetting (25-1000 ℃) |
Maximale gebruikstemperatuur |
||||||||||
| Eenheid | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5% Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
De bovenstaande gegevens zijn alleen ter referentie
1. Zeer nauwkeurige bediening
Semicorexaluminiumoxide keramische robotarmenzijn ideaal voor het stabiel hanteren van wafers en het uiterst nauwkeurig grijpen en overbrengen van wafers in verontreinigingsgevoelige waferproductieworkshops in de halfgeleider- en fotovoltaïsche velden, waardoor de zuiverheid van de wafers en de chipopbrengst betrouwbaar worden gewaarborgd.
2. Chemische verwerking
Semicorex aluminiumoxide keramische robotarmen zijn bestand tegen de corrosie van sterke zuren en logen en zijn zeer geschikt voor gebruik onder agressieve chemische omstandigheden, zoals in de chemische industrie en de productie van nieuwe energiebatterijen.
3. Productie bij hoge temperaturen Semicorex keramische robotarmen van aluminiumoxide kunnen op grote schaal worden gebruikt in de glasproductie, het gieten en de metallurgie, omdat ze kunnen voldoen aan de eisen voor het behouden van betrouwbare sterkte en stabiliteit onder uitdagende omgevingen met hoge temperaturen.