SiC keramische peddel

Semicorex SiC keramische paddle is een geavanceerd onderdeel dat is ontwikkeld voor halfgeleideroventoepassingen bij hoge temperaturen, zoals oxidatie en diffusie. De peddel fungeert als vrijdragende ondersteuning om de wafels bij hoge temperaturen vast te houden en te verplaatsen. De Semicorex SiC keramische paddle geeft zeer zuivere, zeer sterke keramische componenten aan processen bij hoge temperaturen die betrouwbaarheid, stabiliteit en prestatie vereisen die tijdens het productieproces veeleisend zijn.

De peddels zijn gemaakt van hoge zuiverheidsiliciumcarbide (SiC), speciaal ontwikkeld om bestand te zijn tegen de zware thermische en chemische omgevingen van een halfgeleiderproductieproces. Wanneer wafers worden behandeld door middel van oxidatie en diffusie, wordt de wafer blootgesteld aan temperaturen hoger dan 1000 graden Celsius, evenals aan reactieve gassen zoals zuurstof, stoom of doteringsatmosferen. Bij deze temperaturen zal de structurele integriteit afhangen van de zuiverheid van het materiaal.

Een ander belangrijk kenmerk van SiC-keramische peddels zijn hun uitstekende prestaties bij hoge temperaturen. Vanwege het smeltpunt van SiC van 2700+C behouden de peddels hun sterkte en mechanische stabiliteit bij blootstelling aan hoge temperaturen.

in de loop van de tijd. De thermische eigenschap beperkt het kromtrekken en barsten van het materiaal tijdens herhaalde verwarmings- en afkoelcycli, terwijl het een lange levensduur in productieomgevingen biedt.

De verwerking van halfgeleiders vereist een ultraschone omgeving, omdat zelfs sporen van onzuiverheden de opbrengst en het gedrag van apparaten kunnen beïnvloeden. Het SiC-materiaal dat in de paddles wordt gebruikt, heeft een chemisch opgedampte SiC-coating (CVD) die een uitzonderlijk hoge materiaalzuiverheid bevordert en tegelijkertijd metaalverontreiniging minimaliseert. De SiC-keramische peddel blijft gedurende de gehele levensduur schoon en stabiel. Als vrijdragende steunen moeten de peddels een veilige ondersteuning bieden voor waferdragers of boten tijdens het inbrengen en verwijderen uit de oven. VanwegeSiCDoor hun inherente sterkte en stijfheid beschikken ze over goede dragende eigenschappen met minimale doorbuiging, wat essentieel is voor een juiste behandeling en uitlijning van de wafer. In oxidatie- en diffusieovens kunnen corrosieve atmosferen traditionele materialen in de loop van de tijd aantasten en afbreken, maar SiC heeft het vermogen zijn chemische stabiliteit te behouden, waardoor de bruikbare levensduur van de peddel wordt verlengd. Dit resulteert in dramatisch lagere onderhouds- en vervangingskosten, omdat de paddles niet zo vaak vervangen of gerepareerd hoeven te worden.

Naast de prestaties is er flexibiliteit bij het aanpassen van paddles voor specifieke apparatuur en processen. Afmetingen, toleranties en oppervlakteafwerking kunnen flexibel worden gemaakt om ervoor te zorgen dat de ovenontwerpen passen bij elk ander systeem voor het hanteren van wafels. Het vermogen om een ​​hoge mate van maatnauwkeurigheid te bereiken met precisiebewerking van het keramiek zal het ook mogelijk maken om peddels te produceren die voldoen aan complexe geometrieën. Dit hele scala aan functies is bedoeld om een ​​naadloze werking en eenvoudige integratie in bestaande productielijnen te bieden.

SiC-keramiekPaddles, met hun combinatie van hoge zuiverheid, thermische stabiliteit, mechanische sterkte en chemische weerstand, zijn essentiële materialen in oxidatie- en diffusieprocessen van halfgeleiders. Door een stabiel, schoon platform te bieden voor de overdracht van wafels, dragen ze rechtstreeks bij aan een verbeterde opbrengst, procesconsistentie en algehele productie-efficiëntie.