SiC-peddels

Semicorex SiC-peddels zijn de "dragers" van wafels, die wafels in ovens brengen die heter zijn dan 1000 graden Celsius. Dit is hun belangrijkste voordeel: hoge zuiverheid en stabiliteit bij hoge temperaturen, om de mechanische stijfheid te behouden bij transport van het monster in extreme omgevingen. Materialen met een hoge zuiverheid zijn effectief om te voorkomen dat de metaalverontreinigingen de wafel vervuilen; dat geldt ook voor de hoge temperatuurstabiliteit vansiliciumcarbide, omdat het de chemische stabiliteit handhaaft bij verwerkingstemperaturen die voorkomen dat metaalverontreinigingen of deeltjes de wafel vervuilen, waardoor een stabiele wafelopbrengst wordt gegarandeerd. Ten slotte,cantilever peddelszijn ook compatibel met geïntegreerde systemen voor waferoverdracht, waardoor de afhankelijkheid van mensen verder wordt verminderd en de doorvoer toeneemt.

De SiC Paddles vormen een uniek onderdeel van de drager, specifiek voor het transport en de integratie van halfgeleiderwafels in een batchwerklast in processen zoals onder meer oxidatie en diffusie bij hoge temperaturen. Gemaakt met hoge zuiverheidsiliciumcarbide (SiC)bieden de SiC-peddels de thermische stabiliteit, mechanische sterkte en chemische duurzaamheid om stabiel transport boven temperaturen van 1000 °C te garanderen. De SiC-paddles zijn vereist voor de verwerking van wafels: deze zorgen ervoor dat kwetsbare substraten op de juiste manier kunnen worden gehanteerd, terwijl de integriteit en consistentie tijdens het oxidatie-, diffusie- en uitgloeiproces behouden blijven.

De SiC-peddels zijn ontworpen om robuust en betrouwbaar te zijn en zijn een vrijdragende arm die waferboten of waferstapels vasthoudt. De peddel ondersteunt wafers terwijl ze in de proceskamer worden geplaatst of verwijderd. Conventionele materialen falen bij deze hoge temperaturen door vervorming, kromtrekken of chemische degradatie. Dankzij de mechanische stabiliteit en structurele integriteit van siliciumcarbide kan de peddel meerdere thermische cycli overleven zonder verlies van vorm of functie. Deze mogelijkheid is belangrijk om de uitlijning van de oven te behouden, ervoor te zorgen dat de wafels tijdens het proces niet worden beschadigd en dure stilstandtijd tot een minimum te beperken.

De thermische stabiliteit van de SiC Paddles wordt aangevuld door de uitstekende chemische weerstand tegen reactieve gassen die gewoonlijk optreden bij oxidatie- en diffusieprocessen (bijvoorbeeld zuurstof, chloor en andere agressieve stoffen bij hoge temperaturen). Veel materialen zullen vernietigd of vervuild raken wanneer ze worden blootgesteld aan zowel hoge temperaturen als zuurstof. Siliciumcarbide is chemisch inert en de dichte microstructuur zorgt ervoor dat er geen chemische reacties optreden, waardoor zowel de structurele integriteit van de peddel als een schone omgeving voor de wafer wordt geboden. Het resulterende risico op besmetting wordt tot een minimum beperkt voor halfgeleiderfabrikanten die opereren op enkele van de meest geavanceerde procesknooppunten waarvoor zelfs sporenelementen van verontreinigingen aanzienlijke veranderingen in de prestaties van apparaten kunnen veroorzaken.

De mechanische integriteit van de SiC-peddels biedt ook waarde bij verwerkingsprocessen. De structurele vorm van een cantilever vereist een materiaal dat de gewichten van stapels lagen kan dragen en niet buigt of doorbuigt. De zeer hoge modulus en de zeer hoge hardheid van siliciumcarbide maken het een goede overweging voor de mechanische structurele functie die vereist is. De SiC Paddle behoudt zowel vlakheid als structuur, zelfs als deze met wafels is geladen. Dit betekent een constante controle van de oven en de omstandigheden ervan tijdens lange productieperioden.