SiC keramische wafelboot

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat onderscheidt zich door een unieke combinatie van materiaaleigenschappen die het bij uitstek geschikt maken voor de ontberingen van halfgeleider- en fotovoltaïsche productie:

Onwrikbare stabiliteit bij hoge temperaturen:Bij de verwerking van wafels zijn vaak extreme temperaturen betrokken die conventionele materialen tot het uiterste drijven. De SiC Ceramic Wafer Boat vertoont een uitzonderlijke weerstand tegen hoge temperaturen, waarbij de structurele integriteit en mechanische eigenschappen behouden blijven, zelfs bij temperaturen boven 1650°C (3000°F). Dit maakt het gebruik ervan mogelijk in kritische processen zoals diffusie en uitgloeien, waarbij nauwkeurige temperatuurregeling en wafelstabiliteit van het grootste belang zijn.

Onneembaar fort tegen corrosie:De agressieve chemicaliën en agressieve stoffen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders en fotovoltaïsche energie vormen een aanzienlijke uitdaging voor de materiaalintegriteit. De SiC Ceramic Wafer Boat vertoont een superieure corrosieweerstand in vergelijking met de meeste metalen en andere keramiek, en is bestand tegen langdurige blootstelling aan een breed scala aan zuren, oplosmiddelen, zouten en organische verbindingen. Deze inertie garandeert de lange levensduur van de boot, voorkomt verontreiniging door materiaaldegradatie en waarborgt de zuiverheid van kritische processtappen.

Moeiteloze reinheid voor compromisloze zuiverheid:Het behouden van onberispelijke waferoppervlakken is van cruciaal belang voor het bereiken van hoge apparaatopbrengsten en -prestaties. Het niet-poreuze oppervlak van de SiC Ceramic Wafer Boat en de weerstand tegen chemische aantasting maken hem uitzonderlijk eenvoudig schoon te maken. Verontreinigingen worden gemakkelijk verwijderd, waardoor kruisbesmetting tussen procesruns wordt voorkomen en de onberispelijke omgeving wordt gewaarborgd die vereist is voor hoogwaardige halfgeleider- en fotovoltaïsche apparaten.

Veerkracht tegen thermische en mechanische stress:Waferverwerking gaat vaak gepaard met snelle temperatuurveranderingen en mechanische hantering die spanning kunnen veroorzaken en gevoelige materialen kunnen beschadigen. De robuuste mechanische eigenschappen van de SiC Ceramic Wafer Boat, waaronder hoge hardheid en uitzonderlijke thermische schokbestendigheid, garanderen de structurele integriteit ervan, zelfs onder veeleisende omstandigheden. Dit minimaliseert het risico op het genereren van deeltjes of beschadiging van de wafer, wat bijdraagt ​​aan hogere opbrengsten en een consistente productkwaliteit.

Slipvrij transport voor onwrikbare precisie:Nauwkeurige omgang met wafers is cruciaal om schade te voorkomen en een consistente verwerking te garanderen. De inherente smering en lage wrijvingscoëfficiënt van de SiC Ceramic Wafer Boat zorgen voor een natuurlijk slipvrij oppervlak. Dit zorgt voor een soepele, gecontroleerde beweging van de wafer tijdens het laden en lossen, waardoor het risico op krassen, chippen of andere schade die de integriteit van de wafer in gevaar zou kunnen brengen, wordt geminimaliseerd.