SiC-epitaxiereceptor

SiC Epitaxy Susceptor is met precisie vervaardigd en ontworpen voor betrouwbaarheid en beschikt over een hoge corrosieweerstand, hoge thermische geleidbaarheid, weerstand tegen thermische schokken en hoge chemische stabiliteit, waardoor het effectief kan functioneren in een epitaxiale atmosfeer. Daarom wordt SiC Epitaxy Susceptor beschouwd als een kern- en cruciaal onderdeel van MOCVD-apparatuur. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De SiC Epitaxy Susceptor is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in MOCVD-apparatuur om monokristallijne substraten te ondersteunen en te verwarmen. De superieure prestatieparameters zoals thermische stabiliteit en thermische uniformiteit spelen een beslissende rol in de kwaliteit van epitaxiale materiaalgroei, waardoor een hoge mate van uniformiteit en zuiverheid in dunne-filmmaterialen wordt gegarandeerd.

De SiC Epitaxy Susceptor heeft een uitstekende dichtheid en biedt effectieve bescherming in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Bovendien voldoet het hoge niveau van oppervlaktevlakheid perfect aan de vereisten voor monokristallijne groei op het substraatoppervlak.

De minimale verschillen in thermische uitzettingscoëfficiënt in de SiC Epitaxy Susceptor verbeteren de hechtsterkte tussen het epitaxiale substraat en het coatingmateriaal aanzienlijk, waardoor de kans op barsten na thermische cycli bij hoge temperaturen wordt verminderd.

Tegelijkertijd vertoont het een hoge thermische geleidbaarheid, wat een snelle en uniforme warmteverdeling voor de chipgroei mogelijk maakt. Bovendien maken het hoge smeltpunt, de temperatuurbestendigheid, de oxidatieweerstand en de corrosieweerstand een stabiele werking mogelijk in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie.

Als cruciaal onderdeel binnen de reactiekamer van MOCVD-apparatuur moet de SiC Epitaxy Susceptor voordelen bezitten zoals hoge temperatuurbestendigheid, uniforme thermische geleidbaarheid, goede chemische stabiliteit en sterke weerstand tegen thermische schokken. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor voldoet aan al deze eisen.