Siliciumgloeiboot

Ultrahoge zuiverheid voor onberispelijke verwerkingsomgevingen: Semicorex Silicon Annealing Boat, gemaakt van ultrazuiver silicium (tot 13N zuiverheid), minimaliseert het risico op besmetting tijdens verwerking bij hoge temperaturen. Deze uitzonderlijke zuiverheid zorgt ervoor dat de wafers worden blootgesteld aan een ongerepte omgeving, waardoor de introductie van ongewenste onzuiverheden wordt voorkomen die de prestaties van het apparaat kunnen verslechteren en de opbrengst kunnen verminderen.

Minder wafelcontact voor minimale schade:Het gladde, gepolijste oppervlak van de Silicon Annealing Boat minimaliseert de contactpunten met de wafers, waardoor het risico op krassen, afbrokkelen of andere mechanische schade tijdens transport en verwerking aanzienlijk wordt verminderd. Deze zorgvuldige behandeling behoudt de integriteit van de wafers, verbetert de algehele procesopbrengst en draagt ​​bij aan apparaten van hogere kwaliteit.

Aanpasbare ontwerpen voor geoptimaliseerde prestaties: De ontwerpen van de Silicon Annealing Boat kunnen worden aangepast om te voldoen aan specifieke procesvereisten, waaronder variaties in de vorm, lengte, hoek en het aantal wafersteuntanden van de boot. Deze aanpassing maakt optimalisatie van de gasstroomdynamiek, temperatuuruniformiteit en wafelafstand binnen de oven mogelijk, waardoor consistente en herhaalbare verwerkingsresultaten worden gegarandeerd voor een breed scala aan apparaatgeometrieën en procesparameters.

Hoge polysiliciumafzettingslimiet voor langdurig gebruik:De Silicon Annealing Boat biedt een hoge tolerantie voor polysiliciumafzetting, waardoor langdurig gebruik mogelijk is voordat reiniging of vervanging nodig is. Deze langere levensduur vermindert de uitvaltijd van apparatuur die verband houdt met onderhoud, wat bijdraagt ​​aan een grotere productiecapaciteit en lagere totale productiekosten.