SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
De RTP Graphite Carrier Plate van Semicorex is de perfecte oplossing voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels, inclusief epitaxiale groei en verwerking van wafels. Ons product is ontworpen om superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit te bieden, waardoor wordt gegarandeerd dat de epitaxie-susceptors worden blootgesteld aan de afzettingsomgeving, met een hoge hitte- en corrosieweerstand.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex RTP SiC Coating Carrier biedt superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels. Met zijn hoogwaardige SiC-gecoate grafiet is dit product ontworpen om bestand te zijn tegen de zwaarste afzettingsomgeving voor epitaxiale groei. De hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen zorgen voor betrouwbare prestaties bij RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier is ontworpen om de zwaarste omstandigheden van de depositieomgeving te weerstaan. Met zijn hoge hitte- en corrosieweerstand is dit product ontworpen om optimale prestaties te leveren bij epitaxiale groei. De met SiC gecoate drager heeft een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen, waardoor betrouwbare prestaties worden gegarandeerd voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Graphite RTP-draagplaat voor MOCVD biedt superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels. Met een hoogwaardig SiC-gecoat grafiet is dit product ontworpen om bestand te zijn tegen de zwaarste afzettingsomgeving voor epitaxiale groei. De hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen zorgen voor betrouwbare prestaties bij RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-gecoate RTP-draagplaat voor epitaxiale groei is de perfecte oplossing voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels. Met zijn hoogwaardige koolstofgrafietkroezen en kwartskroezen verwerkt door MOCVD op het oppervlak van grafiet, keramiek, enz., is dit product ideaal voor het hanteren van wafels en epitaxiale groeiverwerking. De met SiC gecoate drager zorgt voor een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen, waardoor het een betrouwbare keuze is voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van siliciumcarbide gecoate grafiet susceptor in China. Semicorex grafiet susceptor speciaal ontworpen voor epitaxieapparatuur met hoge hitte- en corrosieweerstand in China. Onze RTP RTA SiC Coated Carrier heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.
Lees verderStuur onderzoek