SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
Semicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van Silicon Carbide Epitaxy Susceptor in China. We richten ons op halfgeleiderindustrieën zoals siliciumcarbidelagen en epitaxie-halfgeleiders. Onze producten hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken een groot deel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van siliciumcarbide gecoate grafiet susceptor in China. Wij zijn al vele jaren fabrikant en leverancier van Deep-UV LED Epitaxiale Susceptor. Onze producten hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex blauwgroene LED epitaxiale susceptors maken de productie van hoogwaardige LED-wafels efficiënter. Wij zijn al vele jaren fabrikant en leverancier van met siliciumcarbide gecoate susceptors. Onze blauwgroene LED epitaxiale susceptor heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Monokristallijne Silicium Wafer Susceptor is de ideale oplossing voor grafietepitaxie en waferhanteringsprocessen. Ons ultrazuivere product zorgt voor minimale vervuiling en uitzonderlijke prestaties met een lange levensduur, waardoor het een populaire keuze is op veel Europese en Amerikaanse markten. Als toonaangevende leverancier van halfgeleiderwaferdragers in China kijken we ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex ultrazuivere monokristallijne silicium epitaxiale susceptor is perfect voor grafietepitaxie en waferhanteringsprocessen en zorgt voor minimale vervuiling en biedt uitzonderlijk lange levensduur. Onze producten hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken een groot deel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekU kunt er zeker van zijn dat u Halfgeleider Wafer Carrier voor MOCVD-apparatuur in onze fabriek koopt. Halfgeleiderwaferdragers zijn een essentieel onderdeel van MOCVD-apparatuur. Ze worden gebruikt voor het transporteren en beschermen van halfgeleiderwafels tijdens het productieproces. Halfgeleiderwaferdragers voor MOCVD-apparatuur zijn gemaakt van zeer zuivere materialen en zijn ontworpen om de integriteit van de wafers tijdens de verwerking te behouden.
Lees verderStuur onderzoek