Ontvanger schijf

De Semicorex Susceptor Disc is gemaakt van zeer zuiver grafiet en gecoat met een laag siliciumcarbide (SiC) met behulp van de MOCVD-techniek en combineert uitzonderlijke thermische eigenschappen met opmerkelijke chemische stabiliteit. De siliciumcarbidecoating zorgt voor een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en corrosieve omstandigheden, wat cruciaal is voor het behoud van de integriteit van de susceptorschijf in uitdagende omgevingen.

Bovendien verbetert de SiC-coating op de susceptorschijf de thermische geleidbaarheid, wat een snelle en gelijkmatige warmteverdeling mogelijk maakt die cruciaal is voor consistente epitaxiale groei. Het absorbeert en straalt efficiënt warmte uit, waardoor een stabiele, uniforme temperatuur ontstaat die essentieel is voor de afzetting van dunne films. Deze uniformiteit is essentieel voor het bereiken van epitaxiale lagen van hoge kwaliteit, die fundamenteel zijn voor de functionaliteit en prestaties van geavanceerde halfgeleiderapparaten.

Het ontwerp van de Susceptor Disc gaat ook de uitdaging van thermische uitzetting aan. De minimale thermische uitzettingscoëfficiënt zorgt voor een sterke hechting met de epitaxiale lagen, waardoor het risico op scheuren als gevolg van thermische cycli wordt verminderd. Deze eigenschap, in combinatie met het hoge smeltpunt en de uitstekende oxidatieweerstand van de susceptorschijf, zorgt voor een betrouwbare werking onder extreme omstandigheden.

Met deze geavanceerde eigenschappen voldoet de Susceptor Disc niet alleen aan de strenge eisen van moderne MOCVD-toepassingen, maar overtreft deze zelfs, waardoor een betrouwbare, hoogwaardige oplossing wordt geboden die de algehele efficiëntie en output van het epitaxiale groeiproces verbetert.