Waferdrager voor MOCVD

de Semicorex Wafer Carrier voor MOCVD, gemaakt voor de precieze behoeften van Metal Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD), komt naar voren als een onmisbaar hulpmiddel bij de verwerking van monokristallijn Si of SiC voor grootschalige geïntegreerde schakelingen. De Wafer Carrier voor MOCVD-samenstelling beschikt over een ongeëvenaarde zuiverheid, weerstand tegen hoge temperaturen en corrosieve omgevingen, en superieure afdichtingseigenschappen om een ongerepte atmosfeer te behouden. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige Wafer Carriers voor MOCVD die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Het geavanceerde ontwerp van de Semicorex Wafer Carrier voor MOCVD voor MOCVD-toepassingen fungeert als een veilige basis, vakkundig ontworpen om halfgeleiderwafels te ondersteunen. Het biedt een geoptimaliseerd ontwerp dat zorgt voor een stevige grip op de wafers en tegelijkertijd een optimale verdeling van gassen mogelijk maakt voor uniforme materiaallagen. Verbeterd met een coating van siliciumcarbide (SiC) door middel van chemische dampafzetting (CVD), combineert de Wafer Carrier voor MOCVD de veerkracht van grafiet met de eigenschappen van CVD SiC: het verdragen van hoge temperaturen, het bezitten van een verwaarloosbare thermische uitzettingscoëfficiënt en het bevorderen van een gelijkmatige warmteverspreiding. Dit evenwicht is cruciaal voor het behoud van de integriteit van de oppervlaktetemperatuur van de wafers.

Met eigenschappen zoals corrosieremming, chemische veerkracht en bijgevolg een langere operationele levensduur, verhoogt de Wafer Carrier voor MOCVD zowel het kaliber als de opbrengst van de wafers aanzienlijk. De duurzaamheid ervan levert een direct economisch voordeel op, waardoor de Wafer Carrier voor MOCVD een verstandige aankoopkeuze is voor uw halfgeleiderproductieactiviteiten.

De Semicorex Wafer Carrier voor MOCVD is zorgvuldig op maat gemaakt voor de epitaxiale procedures van wafers en blinkt uit in het veilige transport van wafers in ovens met hoge temperaturen. Het duurzame raamwerk zorgt ervoor dat de wafels intact blijven, waardoor de kans op schade tijdens de kritieke epitaxiale groeifasen wordt verminderd.**