Alumina Keramische eindeffector

Semicorex aluminiumoxide keramische eindeffector is een essentieel hulpmiddel in geautomatiseerde wafeloverdrachtsystemen, die ongeëvenaarde mechanische sterkte, thermische stabiliteit en chemische weerstand bieden. Vervaardigd met behulp van hoge zuiverheidaluminiumoxide (al₂o₃) keramiek, deze eindeffector is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van waferverwerkingsomgevingen, waarbij precisie, netheid en duurzaamheid van het grootste belang zijn.

Semiconductor -robotarmen zijn een van de belangrijke onderdelen van halfgeleiderapparatuur. Ze zijn meestal samengesteld uit controllers, stuurprogramma's, armen en eindeffectoren. Ze worden gekenmerkt door hoge netheid, hoge stabiliteit, hoge precisie, hoge efficiëntie en hoge betrouwbaarheid. Semiconductor-robots worden voornamelijk gebruikt in het front-end proces van de productie van halfgeleiders om halfgeleiderwafels te vervoeren, te transporteren en te positioneren.

De keramische structuur met aluminiumoxide-gehalte die typisch groter is dan 99,5%, zal een superieure hardheid en slijtvastheid bieden voor herhaalde bewegingen in zeer nauwkeurige omgevingen zonder afbraak in de loop van de tijd. De hoge thermische geleidbaarheid en lage thermische expansie van aluminiumoxide maken een dimensionale stabiliteit mogelijk in omgevingen met verhoogde temperatuur, een noodzaak in de meeste cleanroom -activiteiten in halfgeleiders, zoals in een Etcher, Depositter, inspectie of reinigingsgereedschap.

Dealuminiumair keramiekEindeffector heeft een opmerkelijke karakteristieke oppervlakte -afwerking die glad is en een lage porositeit heeft, waardoor het in de buurt van nuldeeltjes wordt gegenereerd en minimalisatie of nul effect op verontreinigingen tijdens het hanteren van wafers. Bovendien is aluminiumoxide chemisch inert. Dit betekent dat het niet zal reageren met een van de procesgassen en eventuele procesvloeistoffen waarmee de wafer in contact staat. Dit beschermt de wafel en elke besmetting voor zichzelf en apparatuur tegen alles wat corrosie kan veroorzaken.

They are generally used as end effectors, or a clamping mechanism, for robotic arms or transfer modules in wafer fabrication equipment and equipment like an etcher or depostion tool, inspection or cleaning tool with precise slots, grooves, or vacuum channels capturing the actual wafer size whether it be 100 mm, 200 mm, or 300 mm and transferring wafers and capturing for replacement. De eindeffectoren zullen doorgaans afhandelen over wafeloverdrachten snelheden op 25 cm/seconde.

Aanpassingsopties bestaan in de lijn van ontworpen voor specifieke apparatuurinterfaces of wafelgroottes. De structurele stijfheid van aluminiumoxide zorgt voor dunne en lichtgewicht profielen die de totale massa van het handlingsysteem minimaliseren en leiden tot snellere responstijden. Sommige configuraties kunnen ook antistatische of isolerende componenten toevoegen om de gevoelige elektronische substraten extra bescherming te bieden.

Over het algemeen biedt de keramische eindeffector van aluminiumoxide een effectieve oplossing die een verbeterde opbrengst en verminderde besmetting bevordert, waarbij de operationele betrouwbaarheid belangrijke elementen zijn voor de verwerkingslijn van de wafer. Met zijn duurzaamheids- en fysieke prestatiekenmerken, onderscheidt de effectieve en kosteneffectieve keramische eindeffector zich als een populaire keuze tussen fabrikanten van halfgeleiderapparatuur en fabs die strikte productienormen vereisen in een ultra-reinige omgeving.