Poreuze aluminiumoxide Chucks

Semicorex poreuze aluminiumoxide Chucks zijn speciaal gebouwd voor de meest delicate wafels. Hun poreuze ontwerp biedt de zekerheid van een consistente vacuümverdeling over het chuck -oppervlak, wat zorgt voor verminderde gelokaliseerde stress en helpt bij het voorkomen van randchippen en breuk. Mechanische klem (solide of anderszins) is niet zo effectief als het microporeuze netwerk dat zelfs delicate wafels vasthoudt zonder de overbeperkende mechanische stress, terwijl de wafer ook veilig wordt bevestigd, omdat de microporeuze structuur slijtage voorkomt en een zachte houding biedt. De behoefte aan uniforme adsorptie over het gehele chuck -oppervlak is vooral van cruciaal belang voor wafels die groter en dunner zijn die veel minder stress kunnen verdragen tijdens geautomatiseerde hantering en tijdens het uitvoeren van stappen voor het verwerken van hoge precisie.

Geoptimaliseerd voor 35-40% porositeit, ontwikkelt de Chuck een netwerk van interverbindingsporiën die dienen om de lucht te evacueren en tegelijkertijd voldoende mechanische sterkte te bieden om de wafer op zijn plaats te houden tegen proceskrachten. Dit betekent dat de vacuümhoudende kracht stabiel blijft terwijl de wafels worden verplaatst, zelfs in snelle achtereenvolgens, terwijl een complexe procesvolgorde wordt uitgevoerd. Adsorptie binnen een microporeus netwerk biedt meer stabiliteit dan door eenvoudigweg verschillen in druk binnen het vacuümsysteem te creëren.

Het zwarte aluminiumoxide (al₂o₃), zelf is het ultieme materiaal omdat het moeilijk, slijtvast en chemisch inert is. Het zal geen aanzienlijk oppervlak afbreken en wordt niet beïnvloed door herhaalde cycli van de wafel (plaatsing/ vacuümadsorptie/ koeling). De zwartealuminiumoxideis dimensionaal stabiel, zal daarom niet veranderen ondanks temperatuurveranderingen die op natuurlijke wijze tijdens het proces (verwarming en koeling) of in de omgeving optreden.

Chemische weerstand is een ander belangrijk voordeel van zwart aluminiumoxide. De Chuck kan werken in agressieve schoonmaak-, plasma- en etsenomgevingen zonder de structurele integriteit ervan in gevaar te brengen. De inertie ervan voorkomt verontreiniging van het wafeloppervlak, waardoor een hoge proceszuiverheid en de naleving van de normen voor schone kamers wordt gewaarborgd.

De microporeuze structuur biedt ook een ondersteunend oppervlak dat de spanningsconcentratie op dunne en brosse wafels verlicht. In combinatie met precieze oppervlaktevlakheid en gladde oppervlakteafwerking, zullen de poreuze aluminiumoxide-klootzakken het optreden van micro-cracks en krassen minimaliseren die de integriteit van de wafer op de hand kunnen in gevaar brengen.

Aluminiumair keramiekheeft een uitstekende hardheid, hoge mechanische sterkte, lage thermische expansiecoëfficiënt en uitstekende thermische stabiliteit waardoor het een praktisch materiaal is voor een precisie halfgeleidersoepassing. Ook betekent de chemische inertie dat het bestand is tegen zuren, alkalisten en plasma, terwijl slijtvaste eigenschappen zorgen voor duurzaamheid, deze voordelen maken aluminiumoxide het materiaal van keuze voor microporeuze vacuümbevels en biedt zowel betrouwbaarheid als voorspelbaarheid van prestaties.

Concluderend zijn de poreuze aluminiumoxide -klootzakken ontworpen om uniforme en overleefbare wafelafhandeling te leveren. De microporeuze zwarte aluminiumoxide -structuur biedt zelfs vacuümadsorptie (uniformiteit) en minimaliseert mechanische stress en vermindering van wafelschade. Als een klootzak helpt de substantiële en optimale porositeit samen met uitstekende thermische, mechanische en chemische eigenschappen, de wafelveiligheid, waarde en betrouwbaarheid van de werking in harde fabricagecondities te optimaliseren. De uitstekende combinatie van robuuste, uniforme en veilige hantering die de poreuze aluminiumoxide -klootzakken fabrikanten kunnen aanbieden, zijn gewoon zeldzaam en uniek.