Semicorex siliciumcarbide klauwplaten zijn speciaal ontworpen voor fotolithografische apparatuur en hebben meerdere voordelen, zoals hoge precisie, ultralicht gewicht, hoge stijfheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en uitstekende slijtvastheid.
Semicorexklauwplaten van siliciumcarbidezijn functionele adsorptie-apparaten gemaakt vansiliciumcarbide(SiC) keramisch materiaal. Ze worden voornamelijk gebruikt in halfgeleiders, fotovoltaïsche zonne-energie, precisieproductie en andere scenario's die extreem hoge eisen stellen aan hoge temperatuurbestendigheid, slijtvastheid, chemische corrosieweerstand en reinheid van materialen.
SiC-keramisch materiaal heeft een hoge temperatuurbestendigheid en behoudt zijn structurele stabiliteit in omgevingen met hoge temperaturen. Dankzij de uitstekende thermische geleidbaarheid kan de warmte die tijdens de adsorptie wordt gegenereerd snel worden afgevoerd, waardoor oververhitting van het werkstuk wordt voorkomen. De uitzonderlijke hardheid van het materiaal maakt het geschikt voor het grijpen van ruwe of harde werkstukken. Bovendien maakt de chemische inertheid van SiC-keramisch materiaal het bestand tegen corrosie door sterke zuren, sterke basen en organische oplosmiddelen. De lage onzuiverheidsprecipitatieprestaties van dit materiaal voorkomen verontreiniging door onzuiverheden en verlengen de normale bedrijfstijd van de apparatuur, waardoor wordt voldaan aan de ultraschone eisen van de halfgeleiderindustrie.
Typische kenmerken van Semicorex siliciumcarbide klauwplaten
1. Hoge precisie: vlakheid is 0,3-0,5 μm.
2. Spiegelpolijsten
3. Ultralicht gewicht
4. Hoge stijfheid
5. Lage thermische uitzettingscoëfficiënt
6. Uitstekende slijtvastheid
De toepassingsscenario's van siliciumcarbide-klauwplaten
3. Ultralicht gewicht
Waferoverdracht en -verwerking: Bij processen zoals fotolithografie en etsen moet de wafer stabiel worden geadsorbeerd in een vacuümomgeving om verplaatsingsfouten te voorkomen.
Plasmacorrosieweerstand: Bij het halfgeleideretsproces kan een uitstekende corrosieweerstand de levensduur van het product verlengen.
Productie van fotovoltaïsche cellen
Snijden van siliciumwafels: Adsorbeert siliciumwafels om snijtrilling te weerstaan en de fragmentatiesnelheid van siliciumwafels te verminderen.
Precisie-optica en elektronicaproductie
Saffiersubstraatverwerking: Saffiersubstraten die worden gebruikt bij de productie van LED-chips vereisen vacuümadsorptie. De adsorptiekracht moet het gewicht van het substraat overwinnen en krassen op het productoppervlak voorkomen.
Siliciumcarbide klauwplaten zijn belangrijke verbruiksartikelen geworden op het gebied van hoogwaardige productie vanwege hun uitstekende prestaties, waardoor de technologische vooruitgang wordt bevorderd in industrieën zoals halfgeleiders, fotovoltaïsche zonne-energie en recisieproductie.