Poreus grafiet met TaC-coating

Semicorex poreus grafiet met TaC-coating combineert de unieke eigenschappen van poreus grafiet met de beschermende en versterkende eigenschappen van een TaC-coating en biedt aanzienlijke verbeteringen ten opzichte van traditionele materialen die worden gebruikt in smeltkroezen voor hoge temperaturen.

Hoewel grafiet en poreus grafiet op grote schaal worden gebruikt vanwege hun thermische stabiliteit en elektrische geleidbaarheid, vormen ze aanzienlijke uitdagingen in omgevingen met hoge temperaturen. Poreus grafiet heeft in het bijzonder de voorkeur vanwege zijn hoge permeabiliteit, waardoor een betere gasstroom en uniforme temperatuurverdeling mogelijk is. De hoge porositeit maakt het echter mechanisch zwak, wat leidt tot problemen bij het nauwkeurig bewerken en vormgeven van het materiaal. Bovendien kan de poreuze structuur resulteren in het afstoten van deeltjes, waardoor de SiC-kristallen verontreinigd raken. Poreus grafiet is ook gevoelig voor chemisch etsen en afbraak onder hoge temperaturen en reactieve omgevingen, waardoor de integriteit van de smeltkroes in gevaar komt. Hoewel Tantaalcarbide (TaC)-poeders vaak worden gebruikt om grafiet te coaten of te mengen om de eigenschappen ervan te verbeteren, kan de uniforme toepassing en hechting ervan een uitdaging zijn, wat kan leiden tot oneffen oppervlakken en mogelijke vervuiling.

Het Porous Graphite met TaC Coating-product overwint effectief de bovenstaande uitdagingen door de beste eigenschappen van beide materialen te integreren:

Verbeterde mechanische sterkte: De TaC-coating verhoogt de mechanische sterkte van het poreuze grafiet aanzienlijk, waardoor het poreuze grafiet met TaC-coating gemakkelijker te bewerken en te vormen is zonder de structurele integriteit van het materiaal in gevaar te brengen.

Verminderde deeltjesafscheiding: De TaC-coating vormt een beschermende laag over het poreuze grafiet, waardoor de kans op deeltjesafscheiding en verontreiniging van de SiC-kristallen wordt verminderd.

Verbeterde chemische weerstand: TaC is zeer goed bestand tegen chemisch etsen en degradatie en vormt een duurzame barrière die het poreuze grafiet beschermt tegen reactieve gassen en omgevingen met hoge temperaturen.

Thermische stabiliteit en geleidbaarheid: Zowel grafiet als TaC vertonen uitstekende thermische stabiliteit en geleidbaarheid. De combinatie van poreus grafiet met TaC-coating zorgt ervoor dat de smeltkroes een uniforme temperatuurverdeling behoudt, cruciaal voor de foutvrije groei van SiC-kristallen.

Geoptimaliseerde permeabiliteit: De inherente porositeit van het grafiet zorgt voor een efficiënte gasstroom en thermisch beheer, terwijl de TaC-coating ervoor zorgt dat deze permeabiliteit behouden blijft zonder de integriteit van het materiaal in gevaar te brengen.

Semicorex poreus grafiet met TaC-coating vertegenwoordigt een aanzienlijke vooruitgang in materialen die worden gebruikt voor SiC-kristalgroei. Door de mechanische, chemische en thermische uitdagingen aan te pakken die gepaard gaan met traditionele grafiet- en TaC-poeders, zorgt poreus grafiet met TaC-coating voor SiC-kristallen van hogere kwaliteit met minder defecten. De combinatie van de permeabiliteit van poreus grafiet en de beschermende eigenschappen van TaC biedt een robuuste oplossing voor toepassingen bij hoge temperaturen, waardoor het een essentieel materiaal wordt bij de productie van geavanceerde halfgeleiders en elektronische apparaten.