Producten

Semicorex SiC-gecoate grafietwafelsusceptors zijn de onmisbare grafietwafeldragers bedekt met een dichte en uniforme CVD SiC-coating, die speciaal zijn ontworpen voor de hoogwaardige halfgeleider MOCVD epitaxiale groeisystemen. Kiezen voor Semicorex betekent dat u kosteneffectieve prijzen, superieure productkwaliteit en een betrouwbare service-ervaring kunt verkrijgen.

Semicorex SiC-gecoate planetaire susceptors zijn de uiterst nauwkeurige grafietondersteunende componenten bedekt met een dichte siliciumcarbidecoating, speciaal ontworpen voor de geavanceerde MOCVD-apparatuur. Ze kunnen een uniforme gasstroom en thermische distributie mogelijk maken en zo bijdragen aan het creëren van een optimale epitaxiale omgeving.

Semicorex Quartz Susceptor Support is speciaal ontworpen voor epitaxiale halfgeleiderovens. De zeer zuivere materialen en de precieze structuur maken een nauwkeurige controle van het optillen en positioneren van trays of monsterhouders in de reactiekamer mogelijk. Semicorex kan op maat gemaakte kwartsoplossingen met een hoge zuiverheidsgraad leveren, waardoor de prestatiestabiliteit op lange termijn van elk ondersteunend onderdeel in de hoogvacuüm, hoge temperatuur en zeer corrosieve halfgeleiderprocesomgevingen wordt gegarandeerd door middel van geavanceerde verwerkingstechnologie en strenge kwaliteitscontrole.*

Semicorex 1x2" grafiet wafer susceptors zijn de hoogwaardige draagcomponenten die speciaal zijn ontworpen voor 2-inch wafers, die zeer geschikt zijn voor het epitaxiale proces van halfgeleiderwafels. Kies Semicorex voor toonaangevende materiaalzuiverheid, precisietechniek en ongeëvenaarde betrouwbaarheid in veeleisende epitaxiale groeiomgevingen.

Semicorex TaC-gecoate grafietwafelsusceptors zijn de geavanceerde componenten die doorgaans worden toegepast om de halfgeleiderwafels stabiel te ondersteunen en te positioneren tijdens de geavanceerde epitaxiale halfgeleiderprocessen. Door gebruik te maken van de modernste productietechnologieën en volwassen productie-ervaring, streeft Semicorex ernaar om de op maat gemaakte TaC-gecoate grafietwafer-susceptoren van marktleidende kwaliteit te leveren aan onze gewaardeerde klanten.

Semicorex CVD TaC gecoate susceptors zijn hoogwaardige grafiet susceptors met een dichte TaC-coating, ontworpen om uitstekende thermische uniformiteit en corrosieweerstand te leveren voor veeleisende epitaxiale SiC-groeiprocessen. Semicorex combineert geavanceerde CVD-coatingtechnologie met strikte kwaliteitscontrole om langdurige, weinig verontreinigingsgevoelige susceptoren te bieden die worden vertrouwd door wereldwijde SiC epi-fabrikanten.*