Met SiC gecoate planetaire susceptoren

Semicorex SiC-gecoate planetaire susceptors zijn een onmisbaar ondersteunend onderdeel dat is ontworpen voor epitaxiale halfgeleidergroei in Aixtron G2-apparatuur, waarin ze wafers veilig kunnen ondersteunen en op een planetaire beweging kunnen roteren. Op deze manier kunnen de precieze thermische uniformiteit en uniforme gasverdeling over het waferoppervlak met succes worden bereikt, wat resulteert in epitaxiale laagafzetting van topkwaliteit op wafers.

Voordelen van Semicorex SiC-gecoate planetaire susceptoren

1. Ontwerp met meerdere wafeltjes

Semicorex SiC-gecoatplanetaire susceptorenbeschikken over een uniforme verdeling van verschillende wafelzakken met nauwkeurig gecontroleerde afmetingen. Deze wafelzakken zijn in staat om de wafelsubstraten stevig vast te houden tijdens het epitaxiale groeiproces, waardoor op effectieve wijze epitaxiale procesvariaties kunnen worden geminimaliseerd die worden veroorzaakt door de ongewenste beweging van wafelsubstraten. Bovendien maakt dit ontwerp met meerdere wafelzakken het mogelijk dat meerdere wafelsubstraten gelijktijdig epitaxiale afzetting ondergaan in een enkele procesgang, waardoor de algehele efficiëntie van het epitaxiale groeiproces aanzienlijk wordt verbeterd.

2. Geoptimaliseerde opstelling van gasstroomgaten

Semicorex heeft een zorgvuldig ontworpen set gasstroomkanalen ingebouwdSiC-gecoatplanetaire susceptoren, die de optimalisatie van de gasstroomdynamiek en thermische uniformiteit over het wafeloppervlak gedurende het epitaxiale proces verfijnen. Dit doordachte ontwerp maakt nauwkeurige controle mogelijk over de gasstroomsnelheid en -verdeling in de reactiekamer, wat essentieel is voor het bereiken van dunne films van hoge kwaliteit, een uniforme laagdikte en betrouwbare algehele apparaatprestaties.

3. Ultrahoge reinheid

Semicorex SiC-gecoate planetaire susceptors zijn vervaardigd met materialen met een ultrahoge zuiverheid en extreem lage onzuiverheidsniveaus, waardoor ze volledig voldoen aan de strikte reinheidseisen van de productie van halfgeleiders. Ze minimaliseren effectief waferverontreiniging veroorzaakt door het uitgassen van metaal, zelfs onder de hoge temperaturen en corrosieve omstandigheden die kenmerkend zijn voor epitaxiale processen.

4. Lange levensduur

De kwaliteitscontrole van Semicorex begint met onze strenge selectie van grondstoffen. SiC-gecoate planetaire susceptoren zijn met precisie vervaardigd uit grafiet en siliciumcarbide van halfgeleiderkwaliteit en bieden uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en corrosie, waardoor ze perfect bestand zijn tegen de uitdagende, zeer corrosieve epitaxiale bedrijfsomstandigheden bij hoge temperaturen. Met deze uitstekende materiaaleigenschappen kunnen Semicorex SiC-gecoate planetaire susceptoren hun consistente prestaties en structurele integriteit behouden en hun oppervlaktebeschadiging en prestatievermindering in reactiekamers met hoge temperaturen en hoge corrosie vermijden, waardoor de levensduur van SiC-gecoate planetaire susceptoren aanzienlijk wordt verlengd.