SiC dummywafel

Belangrijkste kenmerken van SiC dummywafel

Veelzijdig testen en experimenteren

SiC Dummy Wafers zijn essentieel in verschillende stadia van de productie van halfgeleiders en bieden een veilige en betrouwbare manier om te testen en te experimenteren. Ze zijn van cruciaal belang aan het begin van het productieproces en zorgen ervoor dat alle parameters optimaal zijn voordat waardevolle productiewafels worden gebruikt.

Bescherming bij diffusieprocessen

Bij diffusieprocessen spelen SiC Dummy Wafers een cruciale rol door standaard siliciumwafels af te schermen. Deze beschermende functie voorkomt schade en vervuiling, waardoor de integriteit en kwaliteit van de primaire wafers behouden blijft.

Precisie in metingen

Deze wafers worden nauwgezet gebruikt om de filmdikte, drukweerstand en reflectie-index te meten. Ze spelen ook een belangrijke rol bij het detecteren van de aanwezigheid van flipperkasten en het beoordelen van patroongroottes in lithografie, waardoor ze aanzienlijk bijdragen aan de procesnauwkeurigheid en het verminderen van defecten.

Voordelen van SiC Dummy Wafer

Gasbestendigheid op hoge temperatuur

SiC Dummy Wafers vertonen een opmerkelijke weerstand tegen gasaanvallen bij hoge temperaturen, waardoor ze geschikt zijn voor extreme omstandigheden. Deze veerkracht zorgt voor consistente prestaties, zelfs in de meest veeleisende omgevingen.

Chemische stabiliteit

Dankzij de chemische stabiliteit van SiC Dummy Wafers zijn ze bestand tegen verschillende corrosieve stoffen zonder degradatie. Deze eigenschap is essentieel voor het behoud van de integriteit van de wafer tijdens blootstelling aan chemicaliën.

Deeltjesvrij oppervlak

Met een eenvoudig te reinigen oppervlak minimaliseren SiC Dummy Wafers deeltjesproblemen, wat essentieel is voor het handhaven van een besmettingsvrije omgeving. Deze eigenschap ondersteunt resultaten van hoge kwaliteit en vermindert het risico op defecten.

Structurele integriteit op lange termijn

SiC Dummy Wafers zijn ontworpen om na verloop van tijd bestand te zijn tegen buigen en vervormen. Hun duurzaamheid zorgt ervoor dat ze betrouwbaar blijven gedurende meerdere testcycli, waardoor er minder vaak vervangingen nodig zijn.

Aanpasbare functies

Semicorex biedt door de gebruiker gedefinieerde serialisatie op elke SiC Dummy Wafer, waardoor aanpassing van grootte en dikte mogelijk is. Aangepaste lasergravering elimineert het risico van kruisbesmetting verder, waardoor een hoge mate van zuiverheid en betrouwbaarheid wordt gegarandeerd.

Toepassingen in verschillende sectoren

Fabricage van halfgeleiders

SiC Dummy Wafers zijn essentieel bij de productie van halfgeleiders, vooral tijdens de eerste productiefasen. Ze dienen als een beschermende barrière, beschermen siliciumwafels tegen mogelijke schade en zorgen voor procesnauwkeurigheid.

Kwaliteitsborging en testen

Bij kwaliteitsborging zijn SiC Dummy Wafers cruciaal voor leveringscontroles en het evalueren van procesformulieren. Ze maken nauwkeurige metingen mogelijk van parameters zoals filmdikte, drukweerstand en reflectie-index, wat bijdraagt ​​aan de validatie van productieprocessen.

Lithografie en patroonverificatie

Bij lithografie dienen deze wafers als maatstaf voor het meten van patroongroottes en het controleren van defecten. Hun precisie en betrouwbaarheid helpen bij het bereiken van de gewenste geometrische nauwkeurigheid, cruciaal voor de functionaliteit van halfgeleiderapparaten.

Onderzoek en ontwikkeling

In R&D-omgevingen ondersteunen de flexibiliteit en duurzaamheid van SiC Dummy Wafers uitgebreide experimenten. Hun vermogen om strenge testomstandigheden te doorstaan, maakt ze van onschatbare waarde voor de ontwikkeling van nieuwe halfgeleidertechnologieën.