Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex Electrostatic Chuck (ESC) is een geavanceerd onderdeel dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders en is ontworpen om halfgeleiderwafels veilig vast te houden tijdens verschillende verwerkingsfasen. Met onze toewijding aan het leveren van producten van topkwaliteit tegen concurrerende prijzen, zijn we klaar om uw langetermijnpartner in China te zijn.*
Lees verderStuur onderzoekDe Semicorex Siliciumcarbide Wafer Chuck is een essentieel onderdeel in het epitaxiale halfgeleiderproces. Het dient als een vacuümhouder om wafers veilig vast te houden tijdens kritieke productiefasen. We streven ernaar producten van topkwaliteit te leveren tegen concurrerende prijzen, waardoor we ons positioneren als uw langetermijnpartner in China.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Ceramic Chuck is een zeer gespecialiseerd onderdeel dat is ontworpen voor gebruik in epitaxiale halfgeleiderprocessen, waarbij zijn rol als vacuüm chuck cruciaal is. Met onze toewijding aan het leveren van producten van topkwaliteit tegen concurrerende prijzen, zijn we klaar om uw langetermijnpartner in China te zijn.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC ICP-plaat is een geavanceerde halfgeleidercomponent die speciaal is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van moderne halfgeleiderproductieprocessen. Dit hoogwaardige product is ontworpen met de nieuwste materiaaltechnologie van siliciumcarbide (SiC) en biedt ongeëvenaarde duurzaamheid, efficiëntie en betrouwbaarheid, waardoor het een essentieel onderdeel is bij de fabricage van geavanceerde halfgeleiderapparaten. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC ICP-etsplaat is een geavanceerd en onmisbaar onderdeel in de halfgeleiderindustrie, ontworpen om de precisie en efficiëntie van etsprocessen te verbeteren. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Alumina End Effector is uitgegroeid tot een onmisbaar hulpmiddel in het veeleisende domein van de halfgeleiderproductie, waar zelfs microscopisch kleine onvolkomenheden de prestaties van apparaten in gevaar kunnen brengen. De rol van het nauwkeurig hanteren van wafers kan niet genoeg worden benadrukt. De Alumina End Effector biedt een unieke combinatie van precisie, zuiverheid en duurzaamheid die essentieel is voor het manipuleren van delicate siliciumwafels tijdens verschillende fabricageprocessen.**
Lees verderStuur onderzoek