Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, ook bekend als keramische robotarm voor wafelbehandeling of vork voor het hanteren van keramische siliciumwafels, is een krachtig onderdeel van halfgeleiderapparatuur. Het ontwerp houdt rekening met de strenge eisen van de halfgeleiderproductie. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, slijtvastheid, chemische stabiliteit en uitstekende elektrische isolatie-eigenschappen speelt de keramische arm van aluminiumoxide een onvervangbare rol in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige aluminiumoxide keramische robotarmen die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekDe geavanceerde materiaaleigenschappen van Semicorex SiC Diffusion Furnace Tube, waaronder hoge buigsterkte, uitstekende oxidatie- en corrosieweerstand, hoge slijtvastheid, lage wrijvingscoëfficiënt, superieure mechanische eigenschappen bij hoge temperaturen en ultrahoge zuiverheid, maken het onmisbaar in de halfgeleiderindustrie. , vooral voor toepassingen in diffusieovens. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige SiC-diffusieovenbuizen die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekMet hoogwaardige materiaaleigenschappen vertegenwoordigt Semicorex SiC Diffusion Boat optimale functionaliteit over een breed spectrum van operationele parameters: hardheid, veerkracht en thermische en chemische weerstand, enz. Deze materiaalkeuze is cruciaal voor het verminderen van besmettingsrisico's, het beschermen van wafers en het verdragen van de veeleisende omstandigheden in de fabricageprocessen van halfgeleiders. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige SiC-diffusieboten die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex ICP-etsplaat is een geavanceerd, krachtig onderdeel dat speciaal is ontworpen voor halfgeleidertoepassingen, vervaardigd uit siliciumcarbide (SiC)-materiaal. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-reflector is een cruciaal element in verschillende halfgeleiderproductieprocessen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC keramische warmteoverdrachtplaten, gebaseerd op SiC als het primaire materiaal, ondergaan sinteren bij hoge temperatuur bij 2250°C, wat resulteert in een zeer verglaasd, dicht keramisch lichaam zonder porositeit met een SiC-gehalte van ≥99,3%. Met een buigsterkte van ≥410 MPa en een thermische geleidbaarheid van 140 W/m.k. zijn deze keramieksoorten de enige materialen die bestand zijn tegen corrosie door sterke zuren zoals fluorwaterstofzuur (HF) en zwavelzuur (H2SO4) in de halfgeleiderindustrie. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige SiC-keramische warmteoverdrachtplaten die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie. **
Lees verderStuur onderzoek