Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Het vermogen van Semicorex Wafer Loader Arm om extreme omstandigheden te weerstaan en tegelijkertijd uitzonderlijke prestaties te behouden, onderstreept de waarde ervan bij het optimaliseren van productieprocessen en het bereiken van hogere niveaus van productiviteit en kwaliteit. De integratie van hoogzuiver aluminiumoxide-keramisch materiaal zorgt voor superieure reinheid, precisie en duurzaamheid.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Sealing Part biedt een mix van uitzonderlijke hardheid, chemische weerstand en thermische stabiliteit, waardoor het van belang is voor veeleisende industriële toepassingen. De geavanceerde kenmerken van SiC Sealing Part zorgen voor duurzaamheid, betrouwbaarheid en efficiëntie, waardoor de prestaties en levensduur van de componenten worden verbeterd.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Boat is een geavanceerd onderdeel dat zorgvuldig is ontworpen voor de productie van halfgeleiders, met name in diffusie- en thermische processen. Met onze niet-aflatende toewijding aan het leveren van producten van hoge kwaliteit tegen concurrerende prijzen, zijn wij bereid uw langetermijnpartner in China te zijn.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Wafer Boats zijn geavanceerde componenten die zorgvuldig zijn ontworpen voor de productie van halfgeleiders, met name in diffusie- en thermische processen. Met onze vaste toewijding aan het leveren van producten van topkwaliteit tegen concurrerende prijzen, zijn we klaar om uw langetermijnpartner in China te worden.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Wafer Boat is een cruciaal onderdeel in het productieproces van halfgeleiders, speciaal ontworpen voor gebruik in het diffusieproces, waar het een cruciale rol speelt bij het creëren van sterk geïntegreerde schakelingen. Met onze vaste toewijding aan het leveren van producten van topkwaliteit tegen concurrerende prijzen, zijn we klaar om uw langetermijnpartner in China te worden.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) is een gespecialiseerd gereedschap dat zorgvuldig is vervaardigd om te voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderproductie. Met onze vaste toewijding aan het leveren van producten van topkwaliteit tegen concurrerende prijzen, zijn we klaar om uw langetermijnpartner in China te worden.*
Lees verderStuur onderzoek