Massieve siliciumcarbide scherpstelring

De Semicorex Solid Silicon Carbide Focusring is een cruciaal onderdeel in de halfgeleiderproductie, strategisch gepositioneerd buiten de wafer om direct contact te behouden. Door gebruik te maken van een aangelegde spanning focusseert deze ring het plasma dat er doorheen gaat, waardoor de procesuniformiteit op de wafer wordt verbeterd. Deze focusring is uitsluitend vervaardigd uit Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide (CVD SiC) en belichaamt de uitzonderlijke kwaliteiten die door de halfgeleiderindustrie worden geëist. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan het vervaardigen en leveren van hoogwaardige massief siliciumcarbide focusseerringen die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Bij de vervaardiging van halfgeleiders speelt de Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring een cruciale rol door als schild te fungeren en de integriteit van de wafer tijdens het etsproces te behouden. Het zorgvuldig ontworpen ontwerp zorgt voor nauwkeurig en uniform etsen, waardoor de productie van zeer ingewikkelde halfgeleiderelementen wordt vergemakkelijkt die superieure prestaties en betrouwbaarheid vertonen.

Siliciumcarbide is het materiaal bij uitstek voor de focusseringsring vanwege zijn superieure weerstand tegen plasmacorrosie bij blootstelling aan plasma in de vacuümreactiekamer. De focusring van massief siliciumcarbide presteert in verschillende opzichten beter dan traditioneel silicium, waaronder:

(1) Hoge dichtheid die de etssnelheid minimaliseert.

(2) Superieure bandafstand en uitstekende isolatie-eigenschappen.

(3) Uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en weerstand tegen thermische schokken.

(4) Hoge elasticiteit gecombineerd met uitstekende weerstand tegen mechanische schokken.

(5) Uitstekende hardheid, slijtvastheid en corrosieweerstand.

De geleidbaarheid en weerstand van siliciumcarbide tegen ionenetsing zijn vergelijkbaar met die van silicium, waardoor de focusring van massief siliciumcarbide een ideaal materiaal is voor deze toepassing.

De Semicorex Solid Silicon Carbide Focusring is een state-of-the-art oplossing op het gebied van halfgeleiderproductie. Het maakt gebruik van de unieke eigenschappen van CVD SiC om betrouwbare, hoogwaardige etsprocessen mogelijk te maken, wat aanzienlijk bijdraagt aan de vooruitgang van de halfgeleidertechnologie.