TaC-gecoate grafietonderdelen

Semicorex TaC gecoate grafietonderdelen zijn gemaakt van zeer zuiver isostatisch grafiet en zijn gecoat met tantaalcarbide (TaC), dat ongeëvenaarde weerstand biedt tegen extreme temperaturen. De TaC Coated Graphite-onderdelen zijn ontworpen om de strenge omstandigheden te weerstaan ​​die men tegenkomt bij de productie van halfgeleiders en zijn uitstekend in het verbeteren van verschillende processen die cruciaal zijn voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderproducten. Hun uitzonderlijke hittebestendigheid zorgt voor betrouwbaarheid en een lange levensduur, zelfs in de meest uitdagende thermische omgevingen.

TaC-gecoate grafietonderdelen spelen een cruciale rol bij het optimaliseren van belangrijke halfgeleiderverwerkingstechnieken, waaronder diffusieprocessen, oxidatie-gloeien, LPCVD en PECVD. Door nauwkeurige controle over de temperatuur mogelijk te maken en uniformiteit over de substraten te garanderen, dragen TaC Coated Graphite Parts aanzienlijk bij aan het verbeteren van de productkwaliteit en productie-efficiëntie.

Semicorex TaC-gecoate grafietonderdelen zijn ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderproductie. Van het verbeteren van diffusieprocessen tot het verbeteren van de kwaliteit en efficiëntie van verschillende depositietechnieken: TaC Coated Graphite Parts zijn onmisbare troeven bij het nastreven van uitmuntendheid in de fabricage van halfgeleiders.